논문 상세
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작성자
관리자
조회수
25
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 디지털 제조 혁신 인재 양성 사업단 | ||||
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| 논문명 | Wafer Delay Analysis and Workload Balancing of Parallel Chambers for Dual-Armed Cluster Tools With Multiple Wafer Types | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2021-00112182289 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Ko, Sung-Gil | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 기여율 | 0.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | IEEE TRANSACTIONS ON AUTOMATION SCIENCE AND ENGINEERING | 권(호) | 18 (3) | 시작페이지 | 1516 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1109/TASE.2021.3061140 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 25분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 44분 | ||||
논문 원문