과제 상세정보
목록반도체 제조공정장비를 위한 개방형 스케쥴링 시스템 기술 개발
작성자
관리자
조회수
60
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 기본연구지원사업(후속연구지원) |
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과제 기본정보
| 과제명 | 반도체 제조공정장비를 위한 개방형 스케쥴링 시스템 기술 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1345314646 | ||||
| 부처명 | 교육부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 계속과제 | 이전연도 과제번호 | 1345299337 | ||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2018-11-01 ~ 2021-10-31 | 당해연도 연구기간 | 2020-03-01 ~ 2021-02-28 |
요약 정보
| 연구목표 | 현재 반도체 생산 공장인 팹(Fab)내 제조 장비들의 스케쥴러들은 각 장비 제조 업체별로 상이하다. 팹 업체와 장비 제조 업체는 대부분의 경우 분리되어 있고, 팹은 제조 업체들이 제공하는 장비 내부에 대해서 제대로 알지 못하기 때문이다. 즉, 장비 스케쥴러의 내부 구조 및 논리는 장비 제조 업체만 수정할 수 있는 폐쇄적인 형태이기에 생산 공정의 엔지니어 이... | ||
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| 연구내용 | □ 1차년도 학술연구로 개발된 반복 사이클에 대한 Baseline 규칙과 여기에 챔버내 이상 발생, 레시피 변경, 시작 및 종료 등에 대한 예외 처리 규칙을 개발, 결합한다. 그 후, 이 예외 처리 규칙을 체계적으로 모델링하여 Baseline 규칙과 합성하고 검증하는 기술을 개발한다.□ 2차년도 다양한 장비구조, 운영상황, 운영조건에 대해 충분히 사전 학습... | ||
| 기대효과 | □ 팹업계 주도의 개방형 스케쥴러의 국제 기술표준 개발과 장비사양화 팹-장비 업계 생태계 변혁 반도체 회로 선폭 미세화로 인해 설비투자 금액이 기하급수적으로 증가함에 따라 국내외 주요 팹들이 연합하여 개방형 스케쥴링 시스템에 대한 새로운 기술 표준을 장비 업체들에게 요구할 수 있을 것이다. 이러한 생태계 변혁에 있어서 개방형 스케쥴링 시스템에 대한 프레... | ||
| 키워드 | 반도체 팹 최적화,개방형 장비 스케줄러,데이터 표준,반도체 제조 장비,실시간 스케줄링,최적화 기법,웨이퍼 품 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기초연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | IT(정보기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 학 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 생산기반기술 > 컴퓨터통합생산시스템 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전기 및 기계장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국과학기술원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 50,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||