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카본나노월을 활용한 고효율 스마트센서 개발

작성자

관리자

조회수

58

등록일

2024-05-21

사업 정보
내역사업 기본연구(1년~5년)
과제 기본정보
과제명 카본나노월을 활용한 고효율 스마트센서 개발
과제고유번호 1345316290
부처명 교육부
시행계획 내 사업명
시행계획 내 사업유형 예산출처지역 대전광역시 사업수행지역 대전광역시
계속/신규 과제구분 계속과제 이전연도 과제번호 1345295033
과제수행연도 2020 총연구기간 2018-06-01 ~ 2021-05-31 당해연도 연구기간 2020-03-01 ~ 2021-02-28
요약 정보
연구목표 카본나노월(Carbon nanowall; CNW)은 여러 겹의 그라핀(Graphene)이 기판에 수직으로 성장한 형태의 나노구조물로 탄소기반 동소체 중 현실적으로 가장 실용화가 가능한 나노소재이다. 본 연구는전극 형성이 용이한 CNW을 활용한 고효율 스마트센서 개발을 연구목표로 한다. 이를 위해 기판 종류에 따른 CNW의 성장특성을 조사하고 성장제어 기술을...
연구내용 - 본 연구는 CNW을 사용한 고효율나노센서 개발을 위한 기판상 CNW의 직접성장을 연구목표로 한다. CNW의 합성은 본 연구실이 보유하고 있는 microwave PECVD를 활용하여 진행할 예정이며, 기판 종류에 따른 CNW의 성장특성을 확인하기 위해 금속, 유리, Si 등의 기판을 사용할 계획이다. 또한보다 효과적인 소자활용을 위해 플라즈마 에칭을 통한...
기대효과 기술적 측면- 탄소기반 박막의 합성 및 최적화 기술 확보- 기판상의 CNW의 직접 성장 기술 확보- CNW의 패턴 형성 기술 및 플라즈마 처리기술 확보- 합성된 CNW 위에 박막 코팅 기술 확보- CNW의 전극 활용을 통한 고효율 소자 제작기술 확보사회적 측면- 나노기술의 전문화, 체계화 및 신 공정기술 개발을 통해 나노소재 및 소자제작기술의 산업화를 위한...
키워드 카본나노월,스마트센서,박막,플라즈마,열처리
위탁/공동여부 정보
단독연구 기업 대학 국공립(연)/출연(연) 외국연구기관 기타
기술 정보
연구개발단계 기초연구 산업기술분류
미래유망신기술(6T) NT(나노기술) 기술수명주기
연구수행주체 과학기술표준분류 인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > 반도체 재료
주력산업분류 적용분야 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비)
중점과학기술분류 과제유형
과제수행기관(업) 정보
과제수행기관(업) 정보 과제수행기관(업)명 한밭대학교 사업자등록번호
연구책임자 소속기관명 한밭대학교 사업자등록번호
최종학위 박사 최종학력전공 공학
사업비
국비 50,000,000 지방비(현금+현물) 0
비고