| 연구목표 |
국내 최고 및 세계 동등 수준 이상의 선도연구로서 산화갈륨 에피층에 존재하는 전위결함, 쌍정결함에 대한 구조적 양상의 원자레벨 구조특성 규명 및 평가방법을 개발하고 이에 근거하여 고품질 산화갈륨 분자선에피탁시(MBE) 에피성장기술을 개발, 그리고 산화갈륨 전계효과트랜지스터(FET) 소자 적용을 위하여 전도성이 조절된 고품질 산화갈륨 에피 및 국내 최초의 반... |
| 연구내용 |
- 산화갈륨 FET 소자 적용이 가능한 에피층의 전위 양상, 전위 밀도 및 신뢰성 있는 평가 방법, 쌍정결함의 존재여부 및 평가, 도핑층의 표면 거칠기 조절 등 신뢰성 높은 소자 제작을 위한 고품질 에피층 성장 기술 개발 및 기본적 에피 구조물성을 평가하고 고품질 에피성장 기술을 개발함.- MBE 에피성장기술을 적용하여 FET 소자 적용이 가능한 수준의 전... |
| 기대효과 |
- 고전압, 고온 동작특성을 가지는 산화길룸 기반 차세대 FET 전력반도체 개발에 기여.- 수출이 엄격히 제한되고 국가간 전략물자화가 예상되는 차세대 전력반도체 소재 기술 확보.- 전기자동차에 적용이 가능한 고전압, 고온 동작 차세대 산화갈륨 전력반도체 소자 개발에 기여.- 전도성 조절, 반절연성 산화물 소재 개발 및 캐리어 수직분포 2차원 분석기술 개발 ... |
| 키워드 |
산화갈륨,분자선에피탁시,전력반도체,에피탁시성장기술,전도성, 반절연성,구조결함 |