과제 상세정보
목록(2세부) 반도체 공정용 사불화 규소, 포스핀 및 디보란 표준가스 개발 및 보급
작성자
관리자
조회수
47
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 상용표준물질개발보급사업 |
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과제 기본정보
| 과제명 | (2세부) 반도체 공정용 사불화 규소, 포스핀 및 디보란 표준가스 개발 및 보급 | ||||
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| 과제고유번호 | 1415167149 | ||||
| 부처명 | 산업통상자원부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2020-02-01 ~ 2021-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2020-02-01 ~ 2020-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 반도체 공정관리용으로 사용되고 있는 사불화규소, 포스핀 및 디보란 혼합가스는 Epitaxy(얇은 박막 결정을 성장시키는 과정), Etching(식각공정), 이온주입, Doping(조절된 양의 불순물 도펀트를 반도체에 넣는 과정)용으로 사용되어 반도체 품질에 중요한 역할을 하지만 일부 특수가스 업체에서 소급성이 없이 생산을 하고 있다. 표준물질 수요자가 부정... | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | - 고순도 원료가스(사불화규소, 포스핀, 디보란) 구입- 원료가스 순도분석 수행 무기가스류 불순물 분석(H2, O2, N2, CO, CH4, CO2) : GC-DID with back-flush 기타 무기가스 및 수분 : FTIR, CRDS 등 - 분석법 개발 : 10~100 ppm SiF4, PH3, B2H6 GC 또... | ||
| 기대효과 | - 반도체용 가스 소재의 수입 다변화와 국산화 기술개발 - 반도체용 가스 소재의 측정 신뢰성 확보- 반도체 혼합가스의 효율성 및 제품의 고급화를 위한 정밀측정 및 분석기술- 표준물질 보급을 통한 국가 측정체계의 신뢰성 확보- 차세대 반도체 제조기술 개발에 따른 새로운 가스 소재의 개발 및 특성 평가에 활용 | ||
| 키워드 | 인증표준물질,순도분석,사불화규소,포스핀,디보란 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기타 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | ET(환경기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 자연 > 화학 > 기타화학 > 달리 분류되지 않는 화학 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 전기, 가스, 증기 및 수도사업 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 |
사업비
| 국비 | 135,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||