과제 상세정보
목록상호보정법에 의한 산화물 초박막 절대두께측정법 국제표준 개발
작성자
관리자
조회수
175
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 국가표준기술력향상 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 상호보정법에 의한 산화물 초박막 절대두께측정법 국제표준 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1415167378 | ||||
| 부처명 | 산업통상자원부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 계속과제 | 이전연도 과제번호 | 1415164154 | ||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2019-07-01 ~ 2022-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2020-01-01 ~ 2020-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | [개발목표]- 상호보정법에 의한 산화물 초박막 절대두께측정법 표준절차” NWIP 작성 및 WD 승인 "상호보정법에 의한 산화물 초박막 절대두께측정법" 표준안 NWIP 제안 "상호보정법에 의한 산화물 초박막 절대두께측정법" 표준안 NP 등록 "상호보정법에 의한 산화물 초박막 절대두께측정법" 표준안 NP 승인- ISO/TC-201 총회 및 VAMAS... | ||
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| 연구내용 | 1. 규격제정/제안/등록(1) 국제규격 :“상호보정법에 의한 산화물 초박막 절대두께측정법”표준안 NP 제안 및 NP 승인 1) 상호보정법에 의한 산화물 초박막 절대두께측정 절차 개발 - 상호보정법에 의한 산화물 초박막 절대두께측정 절차서 보완 2) 상호보정법에 의한 산화물 초박막 절대두께측정 국제 공동분석 실시 - 국제공동분석 프로토콜 작성 및 회람 - ... | ||
| 기대효과 | - 첨단 소자의 크기 감소에 따라 측정의 중요도가 더욱 커지고 있으며 측정 기술은 이제 반도체 및 디스플레이 등 첨단 소자 제작의 핵심 요인이 되고 있음. 따라서 첨단 소자 제작의 기술 로드맵에 요구되는 측정 기술 확립은 그러한 소자 개발을 위한 설비 투자를 활성화하고 차세대 소자의 출시를 앞당김으로써 수출 증대를 가져올 수 있음.- 성분 원소의 정량분석 ... | ||
| 키워드 | 산화막,절대두께,상호보정,엑스선광전자분광법,측정소급체계 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 측정표준/시험평가기술 > 교정/시험평가 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(비금속광물 및 금속제품) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 이학 |
사업비
| 국비 | 113,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||