과제 상세정보
목록(1세부) 반도체 공정용 불화수소 표준가스 개발 및 보급
작성자
관리자
조회수
144
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 상용표준물질개발보급사업 |
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과제 기본정보
| 과제명 | (1세부) 반도체 공정용 불화수소 표준가스 개발 및 보급 | ||||
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| 과제고유번호 | 1415167569 | ||||
| 부처명 | 산업통상자원부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2020-02-01 ~ 2021-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2020-02-01 ~ 2020-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 1) HF 표준가스 개발의 핵심 기술인 용기내면처리방법을 개선하여 최선의 용기내면처리방법을 확립한다.2) 저농도 HF 표준가스를 안정적으로 생산할 수 있는 제조방법(중량법 제조)을 개선하여 최선의 생산 프로세스를 확립한다.3) 저농도 HF 표준가스를 안정적으로 분석할 수 있는 분석방법(습식분석, FT-IR)을 개선하여 최선의 분석 프로세스를 확립한다.4) ... | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | 1) HF 표준가스 개발 - 표준물질 생산을 위한 용기내면처리방법 개발 - 원료물질(HF, N2)에 대한 순도분석 진행 - 중량법을 이용한 저농도 HF 표준가스 생산 프로세스 확립 - 저농도 HF 분석법(습식분석, FT-IR) 확립 - 측정불확도 산출 2) KOLAS 표준물질생산기관 인정범위 확대 준... | ||
| 기대효과 | 1) 안정적인 HF 표준가스 제조에 필수적인 용기 내면처리방법을 확립함으로써 HF 인증표준물질 제조를 위한 기초기술을 확보한다.2) 저농도 HF 표준가스를 안정적으로 생산할 수 있는 생산 프로세스를 확립함으로써 안정도테스트용 시료를 제조할 수 있게 된다.3) 저농도 HF 표준가스를 안정적으로 분석할 수 있는 분석 프로세스를 확립함으로써 안정도테스트용 시... | ||
| 키워드 | 불화수소,인증표준물질,불확도,소급성,국제표준물질등록센터 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | ET(환경기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 화공 > 화학제품 > 달리 분류되지 않는 화학제품 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(화학물질 및 화학제품) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (주)리가스 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (주)리가스 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 학사이하 | 최종학력전공 |
사업비
| 국비 | 90,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||