과제 상세정보
목록(1세부) 반도체·디스플레이 공정용 박막두께 상용표준물질 개발 및 보급
작성자
관리자
조회수
91
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 상용표준물질개발보급사업 |
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과제 기본정보
| 과제명 | (1세부) 반도체·디스플레이 공정용 박막두께 상용표준물질 개발 및 보급 | ||||
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| 과제고유번호 | 1415167702 | ||||
| 부처명 | 산업통상자원부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2020-02-01 ~ 2021-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2020-02-01 ~ 2020-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | - 표준물질A군 ((40, 50, 100, 200, 500) nm SiO2 박막두께 시편 5종) 생산계획 수립- 후보물질A군 시편 제작- 후보물질A군에 대한 균일성 평가 - 후보물질A군에 대한 안정성 평가- 3상계 분석 모델을 사용한 특성화 방법 개발- 3상계 분석 결과에 대한 특성값 및 불확도 부여 방법 개발- 기준기급 SE 장치 입사각 정렬 시스템 업그... | ||
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| 연구내용 | * 표준물질A군 생산계획 수립 - 기술책임자는 표준물질 생산을 위한 연간 연구개발 계획을 수립하여 본부(소)총괄책임자의 승인을 받음 - 표준물질생산책임자는 전항에서 수립된 연구개발 계획을 기반으로 표준물질의 품질에 영향을 미치는 공정을 확인하고 표준물질 생산계획을 작성하여 기술책임자에게 보고함* 후보물질A군 시편 제작 - 사용목적에 적합하게 제조되었음... | ||
| 기대효과 | - (개발 측정장비의 측정성능 검증) 측정장비업체에서 개발이 완료된 측정장비가 제대로 작동하는지 그 성능을 확인하는 데 표준물질을 사용함 - (새로운 측정장비 개발의 노하우 제공) 표준물질 생산 및 관리를 위해서는 궁극적으로는 고성능의 측정표준장치 개발이 병행될 수밖에 없으며, 이로 인해서 장비 제작 및 관리의 고급 노하우가 축적되어 장비제작 업체에서 새로... | ||
| 키워드 | 박막두께,측정표준,표준물질,분광타원계측기,반도체디스플레이 제조 공정 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 측정표준/시험평가기술 > 인증 표준물질 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 |
사업비
| 국비 | 270,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||