과제 상세정보
목록(5세부) 3 Line 단차 및 표면조직 상용표준물질 개발 및 보급
작성자
관리자
조회수
44
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 상용표준물질개발보급사업 |
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과제 기본정보
| 과제명 | (5세부) 3 Line 단차 및 표면조직 상용표준물질 개발 및 보급 | ||||
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| 과제고유번호 | 1415167703 | ||||
| 부처명 | 산업통상자원부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2020-02-01 ~ 2021-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2020-02-01 ~ 2020-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | - 정밀 기계 공학/금속/소재 분야에서 활용될 수 있는 단차 (3 ㎛, 10 ㎛)를 갖는 크리스털 및 금속 2종의 재질로 이루어진 상용표준물질을 개발함.- 차세대 반도체/디스플레이 분야에 활용할 수 있는 나노 단차 (30 nm, 60 nm, 90 nm) 상용표준물질을 개발함. | ||
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| 연구내용 | 1. 3 Line 단차 상용표준물질 개발- 단차 상용표준물질의 설계: 측정 방법 (광학식, 스타일러스식 등)의 특성에 따라 반사율, 마모율 등을 고려하여 상용표준물질의 재질을 결정하고, ISO 5436-1에 근거한 측정 방법에 따른 최대 영역을 고려하여 단차 패턴의 폭(W)을 결정함.- 단차 상용표준물질의 재질 및 균일도를 고려하여 실리콘 웨이퍼 식각, 금... | ||
| 기대효과 | - 상용표준물질을 이용하여, 간단하게 정밀 가공 및 검사계측 장비의 정밀도를 국제표준체계에 소급하여 유지할 수 있음.- 상용표준물질을 나노 분야까지 확대하여 개발함으로서, 반도체 공정과 같은 최첨단 공정에도 적용할 수 있도록 함.- 외산 고가 상용표준물질을 대체함으로써 국내 수요에 적극적으로 대응할 수 있음.- 국내에서 개발/보급함으로서 국내 산업계에서의 ... | ||
| 키워드 | 단차,표면거칠기,표면조직,상용표준물질,교정 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 측정표준/시험평가기술 > 인증 표준물질 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(의료,정밀,광학기기및시계) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 |
사업비
| 국비 | 360,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||