R&D 정보

과제 상세정보

목록

(11세부) High-k 합금산화물 nm박막 두께 분석용 인증표준물질 개발 및 보급

작성자

관리자

조회수

128

등록일

2024-05-21

사업 정보
내역사업 상용표준물질개발보급사업
과제 기본정보
과제명 (11세부) High-k 합금산화물 nm박막 두께 분석용 인증표준물질 개발 및 보급
과제고유번호 1415167749
부처명 산업통상자원부
시행계획 내 사업명
시행계획 내 사업유형 예산출처지역 대전광역시 사업수행지역 대전광역시
계속/신규 과제구분 신규과제
과제수행연도 2020 총연구기간 2020-02-01 ~ 2021-12-31 당해연도 연구기간 2020-02-01 ~ 2020-12-31
요약 정보
연구목표 1. Hf0.5Zr0.5O2 (HZO) 두께 6종 (1 ~ 4 nm) 표준물질 제작 (10 mm × 10 mm, 배치형, 균질도: 5% 이내)2. HR-TEM, XRR, XPS, MEIS를 이용한 nm급 HZO 박막 두께 측정법 확립3. 각 측정법에 대한 불확도 평가 방법 확립
연구내용 1. HZO 인증표준물질 제작- 본 연구에서는 1 ~ 4 nm 두께의 Hf1-xZrxO2 (HZO) 박막을 SiO2/Si(100) 기판 위에 원자층증착 (atomic layer deposition, ALD) 기술을 통해 제작하고자 함. (1) Hf0.5Zr0.5O2 (HZO) 원자층 증착 - HZO 박막두께: 6종 (1.5 nm, 2 nm, 2.5 nm...
기대효과 - 단일 물질이 아닌 high-k 합급 산화물 박막의 nm 소급성을 갖는 두께 인증법에 대한 세계 최초 기반 기술 개발.- 상호보정법을 이용한 신뢰성 있는 측정/분석 기술 개발은 다양한 측정 기술의 장점을 융합하여 각 단위 기술의 단점을 보완하는 개념의 새로운 측정 원리로서 절대두께측정 기술 뿐 아니라 다양한 초박막 측정 기술 개발을 촉진시킬 것임.- 다양...
키워드 고유전율,산화막,도핑된 HfO2,인증표준물질,nm 두께
위탁/공동여부 정보
단독연구 기업 대학 국공립(연)/출연(연) 외국연구기관 기타
기술 정보
연구개발단계 응용연구 산업기술분류
미래유망신기술(6T) IT(정보기술) 기술수명주기
연구수행주체 과학기술표준분류 인공물 > 기계 > 측정표준/시험평가기술 > 인증 표준물질
주력산업분류 적용분야 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비)
중점과학기술분류 과제유형
과제수행기관(업) 정보
과제수행기관(업) 정보 과제수행기관(업)명 한국표준과학연구원 사업자등록번호
연구책임자 소속기관명 한국표준과학연구원 사업자등록번호
최종학위 박사 최종학력전공
사업비
국비 270,000,000 지방비(현금+현물) 0
비고