과제 상세정보
목록(9세부) 노치 실리콘 웨이퍼용 불확도 0.01 deg. 이하 결정방위 표준물질 개발 및 보급
작성자
관리자
조회수
43
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 상용표준물질개발보급사업 |
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과제 기본정보
| 과제명 | (9세부) 노치 실리콘 웨이퍼용 불확도 0.01 deg. 이하 결정방위 표준물질 개발 및 보급 | ||||
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| 과제고유번호 | 1415167800 | ||||
| 부처명 | 산업통상자원부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2020-02-01 ~ 2021-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2020-02-01 ~ 2020-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 플랫 (100) 실리콘 웨이퍼 면방위 표준물질 개발- (110) 플랫존이 명확히 식각되어 있는 8인치 공칭면방위 0도, 4도 실리콘 웨이퍼의 정밀 면방위 측정기술 및 인증기술 개발을 통한 면방위 표준물질 2종을 국내 최초로 개발 보급하고, 최종 목표인 노치웨이퍼 표준물질 개발을 위한 선행 연구를 수행한다. | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | 1. 단결정 웨이퍼 면방위 정밀측정기술 개발- 고분해능 X선 회절을 활용하여 정밀 면방위 측정기술개발을 위한 광학계를 확립하고, 8인치 공칭면방위 0도, 4도 실리콘 웨이퍼의 회절모델을 수립하여 정밀 면방위 측정기술을 개발2. 고분해능 X선 회절장치 기반 측정소급성 확보 및 불확도 평가- 고분해능 X선 회절기의 각도 및 X선 파장의 교정을 통한 측정소급성을... | ||
| 기대효과 | - 국내 최초로 플랫 (100) 실리콘 웨이퍼의 면방위 인증표준물질 개발을 통한 신뢰성 있는 고품질 실리콘 웨이퍼 국산화에 기여- 국내 플랫 실리콘 웨이퍼의 면방위 불확도 감소를 통한 국제동등성 확보 및 해외시장 개척에 기여- 정밀 면방위 측정기술 개발 및 인증표준물질을 통한 실리콘 웨이퍼 위에 증착된 다양한 광전자 소자의 구동 신뢰성 확보에 기여- 미국 ... | ||
| 키워드 | 실리콘,웨이퍼,면방위,표준물질,고분해능 X선회절 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기타 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | IT(정보기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > 반도체 재료 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 225,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||