과제 상세정보
목록SRCD 측정 시스템 양산성능개선
작성자
관리자
조회수
49
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 소재부품기술기반혁신 |
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과제 기본정보
| 과제명 | SRCD 측정 시스템 양산성능개선 | ||||
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| 과제고유번호 | 1415171793 | ||||
| 부처명 | 산업통상자원부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2020-11-01 ~ 2021-09-30 | 당해연도 연구기간 | 2020-11-01 ~ 2021-09-30 |
요약 정보
| 연구목표 | ㅇ SRCD 측정 TACT time 개선 - 100 point CD(point 간 간격 약 400mm) 자동측정 시간 340초 이내(현수준 : 400초) ㅇ 위치 정확도 개선 - 공정용 glass 에서 특정 point 이동시 오차 5 um 이내(30회 측정, 패턴 증착된 glass 사용, 현수준 : 10um 이내) ㅇ 측정 정밀도 유지 ... | ||
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| 연구내용 | ㅇ TACT time 개선디스플레이 공정용 stage 상에서 측정 속도를 올리기 위해서는 측정 장비의 이동속도가 가장 중요하다. 자체적인 시뮬레이션 결과 평균적인 이동속도를 2배로 올리기 위해서는 현재 사용하고 있는 속도인 400mm/sec 과 0.1G 의 가속도를 1000mm/sec 의 속도와 0.5G 의 가속도로 올려야 한다. 가속도를 올리게 되면 장비... | ||
| 기대효과 | ㅇ 당사가 개발한 SRCD meter 는 세계 최고 수준의 장비로서, 성능 개선을 통해 디스플레이 시장에 출시하면, 외산이 차지하고 있는 국내 시장에서의 수입 대체효과를 가지게 되면서, 점점 커져가고 있는 중국 등 해외 디스플레이 시장으로의 수출 효과도 얻을 수 있다. ㅇ 본 과제를 통한 성능 개선 기술은 SRCD meter 장비 뿐만 아니라, 디스플레이... | ||
| 키워드 | 고속측정,정밀측정,디스플레이,정렬,선폭 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기타 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | 기타 | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인간 과학과 기술 > 과학기술과 인문사회 > 기타 과학기술과 인문사회 > 달리 분류되지 않는 과학기술과 인문사회 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 기타 공공목적 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 케이맥(주) | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 케이맥(주) | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 학사이하 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 400,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||