| 연구목표 |
4인찌 full 웨이퍼 제작공정 확립으로 SiC APD에 대한 대량생산공정을 확립하며, PMT 수준의 크기 및 성능 확인을 위한 최적화된 회로모듈 제작을 통한 시제품을 완성하며, 이를 통한 성능확인을 통해 부족한 부분에 대한 보완으로 최종목표를 충족가능하도록 하며, 자체성능시험평가(온도안정도, Dark count rate, 최대 count rate, 단광자... |
| 연구내용 |
- 4인찌 웨이퍼 제작을 위한 최적의 센서모듈 설계- 포항공대 나노융합기술원으로부터 제작된 SiC APD 이용 센서모듈 제작- SiC APD를 구동할수 있는 액티브 칭 및 리셋회로 최적화 (크기 및 성능) - 성능시험 평가를 위한 최종 센서모듈 시제품 제작 및 보완- 제작된 센서모듈을 이용한 성능시험 평가- 수광 면적 증대 공정 기술 개발- 광효율 증진 ... |
| 기대효과 |
생물입자 탐지장치의 자외선 센서로 적용가능한 크기 및 성능수준으로 자외선 센서를 개발하며, 이를 통해 1차적으로 RI사의 자외선 센서로 시장에 판매 및 수출을 진행할수 있고, 추후 4차 산업혁명의 한분야인 사물인터넷의 핵심센서인 오존센서, 자외선센서 및 무선수신기등에 적용가능하며, 불꽃감지기, 산업용 변압기의 arc 검출기, 제트기 및 미사일등의 Plume... |
| 키워드 |
자외선센서,실리콘카바이드,아발란체 포토다이오드,양자효율,생물입자 |