| 연구목표 |
초미세 선폭을 갖는 레이저 광원 형성 기술과 제품의 표면 형상1)고정밀 측정을 위한 광센싱 기술 개발- Grating 광회절 기반 0.2mm이하 초미세선폭 2D라인 레이저 개발- 표면 현상 고정밀 측정을 위한 광 센싱 기술- Wide inspect 영역을 위한 고정밀 저진동 이동 장치 및 제어 모듈 |
| 연구내용 |
[주관기업] (광원부) 가변 출력 제어가 가능한 0.2mm급 미세 선폭 균일 라인 레이저 광원 기술 개- 균일 라인 레이저 발광을 위한 고효율 반사 grating 기술 개발- 미세 선폭을 위한 grating 기반의 라인 광 집속 기술 개발 - 근거리용 라인 레이저 광원부 HW 설계 및 모듈 소형화 기술개발 (시스템) profile 측정용 고해상도/고속 촬영... |
| 기대효과 |
[기술성] 라인 레이저 모듈발생 장치에 대한 특허기술보유 및 이를 활용한 상용화 반도체 비젼 검사 기술 구현가능 3차원 표면형상 인식 광원소스, 영상처리, 공정연계의 3단계 기술로 구성 국내 3D 센서 모듈에 대한 기반 부족에 따른, 표면형상 측정용 광학 기구 및 센서 모듈 HW 설계 기술 우선 확보 3D 센서 모듈 H/W와 커스터마이징(customi... |
| 키워드 |
표면형상,라인레이저,검사 시스템,이동장치,반사판 |