과제 상세정보
목록보안과제
작성자
관리자
조회수
230
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 보안과제 |
|---|
과제 기본정보
| 과제명 | 보안과제 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 과제고유번호 | 1425139533 | ||||
| 부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 계속과제 | 이전연도 과제번호 | 1425134892 | ||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2019-06-26 ~ 2021-06-25 | 당해연도 연구기간 | 2020-01-01 ~ 2020-06-25 |
요약 정보
| 연구목표 | ㅁ 개발장비의 기본지표성능 향상 및 최적화, 자체 보호기능 장착을 통한 장기 신뢰성 및 안정성 확보 - 최대 동작 압력, 유량 등 기본성능지표의 향상을 위한 개발품 최적화 - 장기 신뢰성 및 안정성 확보를 위한 자체 보호 기능 개발 | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | ㅁ 최대 동작 압력, 유량 등 기본성능지표의 향상을 위한 개발품 최적화 - 현재 당사 개발품의 최대 동작 압력, 유량, 전력 등의 기본적인 성능 지표는 경쟁사 제품 대비 동등 혹은 우수하나(표 3), 원자층 증착(Atomic Layer Deposition)이나 저산화용 photoresist 식각 등 원격 활성종 공급장치를 사용하지 않았던 새로운 영역으로 적... | ||
| 기대효과 | - 경쟁사 대비 월등한 기술 경쟁력 확보 및 반도체 장비의 국산화에 이바지 - 자체 개발 장비 특허로 인하여 지적 재산권 다툼이 없으며 이로 인하여 국내외 시장진출에 용이함 - 자체 장비 보호 기술확보로 인하여 장시간 사용시의 안정성 및 기술 신뢰성 확보 | ||
| 키워드 | 플라즈마,활성종,식각,박리,세정 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
|---|---|---|---|---|---|
|
기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | IT(정보기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 자연 > 물리학 > 유체·플라즈마물리 > 플라즈마 물리 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전기 및 기계장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 보안과제 | 사업자등록번호 | |
|---|---|---|---|---|
| 연구책임자 | 소속기관명 | 보안과제 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 이학 |
사업비
| 국비 | 250,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
|---|---|---|---|
| 비고 | |||