과제 상세정보
목록Ion Implantation 공정 발생 PH3 & AsH3 유해가스 제거용 고효율 금속수산화물 약제 제조기술 개발
작성자
관리자
조회수
227
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 2018년 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고(1차) |
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과제 기본정보
| 과제명 | Ion Implantation 공정 발생 PH3 & AsH3 유해가스 제거용 고효율 금속수산화물 약제 제조기술 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1425140220 | ||||
| 부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 계속과제 | 이전연도 과제번호 | 1425129985 | ||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2018-05-01 ~ 2020-04-30 | 당해연도 연구기간 | 2020-01-01 ~ 2020-04-30 |
요약 정보
| 연구목표 | ① 개발목표 가. PH3, AsH3 등의 Implant 가스 제거용 약제 시제품 개발(Pilot scale) 나. 시제품 제조 및 개발사양(STP 기준) - PH3 가스파과시간: 8시간 이상 (3000ppm, 유량: 50cc/min, SV: 3000hr-1) - AsH3 가스파과시간: 2시간 이상 (5000ppm, 유량: 50cc/min, SV: 300... | ||
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| 연구내용 | ③ 개발내용 ● 시제품 제조 공정 및 제품 안정성 연구● 각 제조공정 상 제조 효율성 검토 및 분석 ● 시제 물리적 형상 검토 및 개선 ● 시제 성능 분석 ● 양산 대비 제품 원료 단가 조사● 실험실적 제조공정의 Scale-up 단계 애로기술 파악 및 해결 ● 시제품 생산 300kg/batch 및 성능 실험● 시제품 제조 공정상 오염원 조사 (대기 및 폐수... | ||
| 기대효과 | 1. 기대효과 - 시제품 제조 공정상의 문제점 및 해결 방안 확보 기대 - 시제품의 흡착성능 향상을 통한 외국 수입제품의 대체 효과 기대 - 기술개발을 통한 제품의 상용화 가능성 확보 및 해외 진출 기대 - 제품의 경쟁력 확보시 국내 중소기업의 해외 공신력 증대 - 당사의 기술력 입증 및 수출을 통한 매출 및 고용 증대로 정부 지원에 보답 | ||
| 키워드 | 유독가스,건식스크라버,이온주입공정,반도체 공정,흡착효율 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | ET(환경기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 화공 > 정밀화학 > 유/무기재료 및 촉매 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(화학물질 및 화학제품) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한소주식회사 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한소주식회사 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 이학 |
사업비
| 국비 | 70,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||