가속전압 8kV에서 500um/hr 이상의 식각률을 가지며 플랫 밀링이 가능한 단면시편 제작장치 상용화 개발
사업 정보
| 내역사업 |
2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업) |
과제 기본정보
| 과제명 |
가속전압 8kV에서 500um/hr 이상의 식각률을 가지며 플랫 밀링이 가능한 단면시편 제작장치 상용화 개발 |
| 과제고유번호 |
1425140370 |
| 부처명 |
중소벤처기업부 |
| 시행계획 내 사업명 |
|
| 시행계획 내 사업유형 |
|
예산출처지역 |
대전광역시 |
사업수행지역 |
대전광역시 |
| 계속/신규 과제구분 |
계속과제 |
이전연도 과제번호 |
1425135231 |
| 과제수행연도 |
2020 |
총연구기간 |
2019-11-06 ~
2020-11-05
|
당해연도 연구기간 |
2020-01-01 ~
2020-11-05
|
요약 정보
| 연구목표 |
가속전압 8kV에서 500um/hr 이상의 식각률을 가지며 플랫 밀링이 가능한 단면시편 제작장치 상용화 개발주요성능지표 - 식각률 : 식각장치 기본기능이 식각률- 평탄도 : 식각된 표면이 평탄하지 않으면 미세 패턴을 관찰할 수 없음.- 시료관찰배율 : 장시간 사용되는 장비 특성상 초기 시료가 제대로 식각되는지 확인할 수 있어여 하며, 매우 좁은 영역을 -... |
| 연구내용 |
1. 고전압(8kV)에서 500um/hr의 식각을 할 수 있는 소형 이온건 개발 - 8kV의 고전압에도 안정적으로 동작할 수 있도록 절연강화 설계 - 이온빔이 시료에서 1mm 내외에서 집속할 수 있는 렌즈구조 개발 - 2~8kV의 전영역에서 최고의 식각효율을 위한 MFC 설계2. 0.1의 평탄도를 가지는 Flat milling을 지원하는 스... |
| 기대효과 |
수입대체효과* 국산화와 경쟁력 확보를 통해 국내 20% 이상의 시장점유 예상수출증대효과* SEM과 같이 70% 이상의 매출이 해외에서 창출될 것임시장창출* 뛰어난 가성비를 달성함으로 Au코팅등의 일반산업에서도 본 개발장비를 활용할 수 있는 여건을 조성함으로 시장개척 및 확대를 해 나갈 것임비용절감* 많은 국내 기업들은 국산화된 가성비 높은 단면식각 제작장치... |
| 키워드 |
이온빔,폴리싱,식각,시료,전자현미경 |
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 |
기업 |
대학 |
국공립(연)/출연(연) |
외국연구기관 |
기타 |
|
|
|
|
|
|
기술 정보
| 연구개발단계 |
개발연구 |
산업기술분류 |
|
| 미래유망신기술(6T) |
NT(나노기술) |
기술수명주기 |
|
| 연구수행주체 |
산 |
과학기술표준분류 |
인공물 > 전기/전자 > 기타전기/전자 > 달리 분류되지 않는 전기/전자 |
| 주력산업분류 |
|
적용분야 |
제조업(의료,정밀,광학기기및시계) |
| 중점과학기술분류 |
|
과제유형 |
|
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 |
과제수행기관(업)명 |
코셈 |
사업자등록번호 |
|
| 연구책임자 |
소속기관명 |
코셈 |
사업자등록번호 |
|
| 최종학위 |
박사 |
최종학력전공 |
공학 |
사업비
| 국비 |
150,000,000
|
지방비(현금+현물) |
0
|
| 비고 |
|
사업 정보
| 내역사업 |
2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업) |
과제 기본정보
| 과제명 |
가속전압 8kV에서 500um/hr 이상의 식각률을 가지며 플랫 밀링이 가능한 단면시편 제작장치 상용화 개발 |
| 과제고유번호 |
1425140370 |
| 부처명 |
중소벤처기업부 |
| 시행계획 내 사업명 |
|
| 시행계획 내 사업유형 |
|
| 예산출처지역 |
대전광역시 |
| 사업수행지역 |
대전광역시 |
| 계속/신규 과제구분 |
계속과제 |
| 이전연도 과제번호 |
1425135231 |
| 과제수행연도 |
2020 |
| 총연구기간 |
2019-11-06 ~
2020-11-05
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| 당해연도 연구기간 |
2020-01-01 ~
2020-11-05
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요약 정보
| 연구목표 |
가속전압 8kV에서 500um/hr 이상의 식각률을 가지며 플랫 밀링이 가능한 단면시편 제작장치 상용화 개발주요성능지표 - 식각률 : 식각장치 기본기능이 식각률- 평탄도 : 식각된 표면이 평탄하지 않으면 미세 패턴을 관찰할 수 없음.- 시료관찰배율 : 장시간 사용되는 장비 특성상 초기 시료가 제대로 식각되는지 확인할 수 있어여 하며, 매우 좁은 영역을 -... |
| 연구내용 |
1. 고전압(8kV)에서 500um/hr의 식각을 할 수 있는 소형 이온건 개발 - 8kV의 고전압에도 안정적으로 동작할 수 있도록 절연강화 설계 - 이온빔이 시료에서 1mm 내외에서 집속할 수 있는 렌즈구조 개발 - 2~8kV의 전영역에서 최고의 식각효율을 위한 MFC 설계2. 0.1의 평탄도를 가지는 Flat milling을 지원하는 스... |
| 기대효과 |
수입대체효과* 국산화와 경쟁력 확보를 통해 국내 20% 이상의 시장점유 예상수출증대효과* SEM과 같이 70% 이상의 매출이 해외에서 창출될 것임시장창출* 뛰어난 가성비를 달성함으로 Au코팅등의 일반산업에서도 본 개발장비를 활용할 수 있는 여건을 조성함으로 시장개척 및 확대를 해 나갈 것임비용절감* 많은 국내 기업들은 국산화된 가성비 높은 단면식각 제작장치... |
| 키워드 |
이온빔,폴리싱,식각,시료,전자현미경 |
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 |
기업 |
대학 |
국공립(연)/출연(연) |
외국연구기관 |
기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 |
개발연구 |
| 산업기술분류 |
|
| 미래유망신기술(6T) |
NT(나노기술) |
| 기술수명주기 |
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| 연구수행주체 |
산 |
| 과학기술표준분류 |
인공물 > 전기/전자 > 기타전기/전자 > 달리 분류되지 않는 전기/전자 |
| 주력산업분류 |
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| 적용분야 |
제조업(의료,정밀,광학기기및시계) |
| 중점과학기술분류 |
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| 과제유형 |
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과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 |
| 과제수행기관(업)명 |
코셈 |
| 사업자등록번호 |
|
| 연구책임자 |
| 소속기관명 |
코셈 |
| 사업자등록번호 |
|
| 최종학위 |
박사 |
| 최종학력전공 |
공학 |
사업비
| 국비 |
150,000,000
|
| 지방비(현금+현물) |
0
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| 비고 |
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