과제 상세정보
목록적외선필터가 집적된 CMOS-MEMS 기반 초소형 NDIR 방식 이산화탄소 감지장치의 개발
작성자
관리자
조회수
189
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 2018년도 글로벌 스타벤처 육성 R&D과제 시행계획 공고(1차) |
|---|
과제 기본정보
| 과제명 | 적외선필터가 집적된 CMOS-MEMS 기반 초소형 NDIR 방식 이산화탄소 감지장치의 개발 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 과제고유번호 | 1425140749 | ||||
| 부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 계속과제 | 이전연도 과제번호 | 1425131412 | ||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2018-06-01 ~ 2020-05-31 | 당해연도 연구기간 | 2020-01-01 ~ 2020-05-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 개발된 싱글 유닛형태의 IR 센서를 이용하여 듀얼형태의 IR 센서로 구현 개발된 광공동(Optical cavity)를 개선하여 광경로 최적화 및 센서 및 ROIC를 이용하여 최종 모듈을 구현 ROIC는 두 개의 IR 센서와 하나의 광원을 컨트롤 할 수 있도록 내부에 듀얼모드 수신부와 광원 컨트롤을 위한 하나의 컨트롤 회로로 구성 Wirele... | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | - 센서의 패키지는 CSP를 사용하여 패키지를 진행 - 듀얼 센서의 경우 필터캡으로 사용되는 웨이퍼 상에 이산화탄소에 반응하는 파장(4.26um)과 레퍼런스로 사용되는 파장(3.91um)에 대한 광필터를 구현하여야 하므로 하나의 웨이퍼상에 반도체 공정을 이용하여 이를 구현 - 스퍼터링을 이용한 IR 대역의 밴드패스 필터의 구현을 이용하여 두 ... | ||
| 기대효과 | 듀얼유닛의 IR 센서를 확보하여 자동보정기능을 확대 병력구조의 IR센서로 싱글유닛과 동등한 소형의 센서모듈의 확보 센서 모듈의 신뢰성을 확보하여 상용화 작업 진행 IoT에 적용 가능한 무선 통신용 센서 플랫폼을 개발하여 상용레퍼런스 확보 | ||
| 키워드 | 비분산적외선센서,산화실리콘미세기계장치,써모파일,아날로그신호처리칩,웨이퍼 수준 패키지 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
|---|---|---|---|---|---|
|
기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | IT(정보기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 전기전자부품 > 센서부품 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 환경 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 알앤에스랩 | 사업자등록번호 | |
|---|---|---|---|---|
| 연구책임자 | 소속기관명 | 알앤에스랩 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 104,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
|---|---|---|---|
| 비고 | |||