과제 상세정보
목록대기압주사전자현미경(ASEM)의 대기환경에서 전자 산란 감소를 위한 신규 멤브레인이 적용된 컬럼 개발
작성자
관리자
조회수
229
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 2018년도 구매조건부신제품개발사업 국내수요처 2차 지정공모 과제 접수 공고 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 대기압주사전자현미경(ASEM)의 대기환경에서 전자 산란 감소를 위한 신규 멤브레인이 적용된 컬럼 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1425140855 | ||||
| 부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 계속과제 | 이전연도 과제번호 | 1425131869 | ||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2018-11-01 ~ 2020-10-31 | 당해연도 연구기간 | 2020-01-01 ~ 2020-10-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 전계방출 주사전자현미경(FE-SEM) 경통에 Semi-Inlens 방식의 대물렌즈를 개발하여 장착하며, 3x3개 이상, 10nm이하 두께의 SiN 또는 그래핀 박막이 가공되어 있는 이동가능한 그리드를 부착하여 , 10만배 이상의 고분해능 이미지를 구현할 수 있는 대기압주사전자현미경(ASEM) 을 개발한다. | ||
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| 연구내용 | 시료와 대물렌즈 사이의 거리를 최소화 시켜 초점거리를 짧게 함으로서 초점거리의 3승에 비례하는 수차를 줄여 분해능을 높인 ASEM 전용 Semi-Inlens 타입 대물렌즈를 개발한다. 대물렌즈 내부에 후방산란전자(BSE)검출기를 내재시켜 검출효율을 향상시킨다. 대물렌즈는 뾰족한 Conical 형태로 제작하여 성분분석용 EDS 검출기 등의 장착을 용이하게 ... | ||
| 기대효과 | 현재 전량 수입에 의존하고 있는 전계방출 주사전자현미경 (FE-SEM) 및 대기압주사전자현미경(ASEM)을 국산화하여 2020년도 부터 판매를 시작한다. 2020년 부터는 향후 3조원 규모인 세계 시장에의 진출도 시작한다. 또한 SeimInlens 방식의 대물렌즈를 채용한 FE-SEM은 1kV 이하의 저전압에서도 1.5nm 이하의 초고분해능이 기대되어 반... | ||
| 키워드 | 대기압주사전자현미경,주사전자현미경,전계방출 전자총,후방산란전자,질화실리콘박막 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 반도체장비 > 측정/검사장비 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(의료,정밀,광학기기및시계) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 모듈싸이 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 모듈싸이 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 이학 |
사업비
| 국비 | 125,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||