과제 상세정보
목록반도체용 고속회전형 고진공 Turbo Molecular Pump 개발
작성자
관리자
조회수
223
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업) |
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과제 기본정보
| 과제명 | 반도체용 고속회전형 고진공 Turbo Molecular Pump 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1425140973 | ||||
| 부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 계속과제 | 이전연도 과제번호 | 1425135189 | ||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2019-11-06 ~ 2021-11-05 | 당해연도 연구기간 | 2020-01-01 ~ 2020-11-05 |
요약 정보
| 연구목표 | 1. BLDC Motor 설계 및 제작 가) 공간고조파법을 이용한 초기 단계 설계 나) 반응표면론법을 이용한 설계 최적화 다) 100,000 rpm 회전을 위한 모터 드라이버 설계 및 제작 라) BLDC 모터 설계 및 제작 2. 컴퓨터 시뮬레이션을 통한 BLDC 모터 해석 검증 가) 최적 설계 검증을 위해 유한요소해석(FEA) 수... | ||
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| 연구내용 | 1. BLDC Motor 설계 및 제작 가) 공간고조파법을 이용한 초기 단계 설계 ① 공간 고조파법은 전동기의 복잡한 형상을 단순하게 한 후 전자계 지배방정식을 이용하여 푸는 해석적인 방법임. ② 정밀도가 높지 않지만 전동기의 특성을 간단히 계산할 수 있기 때문에 초기 단계 설계에 적용함. 나) 반응표면론법을 이용한 설... | ||
| 기대효과 | 반도체 제조 공정의 고진공상태를 생성, 유지하기 위해 중요한 핵심 부품인 터보 진공펌프에 대해 정부의 지원을 받아 연구개발 완료 시, 수입 대체효과 및 가격 경쟁력 확보, 고용 확대에 기여할 수 있을 것으로 사료 됨. | ||
| 키워드 | 터보 분자 펌프,반도체 시험장비,진공 시스템,BLDC 모터,적응형 PID 제어 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | 기타 | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 산업/일반기계 > 달리 분류되지 않는 산업/일반기계 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전기 및 기계장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 코리아테스팅 주식회사 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 코리아테스팅 주식회사 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 300,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||