과제 상세정보
목록반도체 세정 공정용 300 mm 급 불화물계 세라믹 소재 개발
작성자
관리자
조회수
154
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업) |
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과제 기본정보
| 과제명 | 반도체 세정 공정용 300 mm 급 불화물계 세라믹 소재 개발 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 과제고유번호 | 1425141008 | ||||
| 부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 계속과제 | 이전연도 과제번호 | 1425135182 | ||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2019-11-06 ~ 2021-11-05 | 당해연도 연구기간 | 2020-01-01 ~ 2020-11-05 |
요약 정보
| 연구목표 | * 불화물계 소재 개발: 입도, 조성비, 과립화 특성에 따른 물성 평가* 40 mm급 불화물계 소결 기술 확보: 성형기술, 열처리 조건 최적화* YF3, Y2O3를 첨가한 복합소재 기술 개발: 기계적 특성 향상* 불화물계 소재의 내플라즈마성 평가: 고밀도 플라즈마 환경내의 식각률 최소화 | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | * 불화물계 소재 개발 - 세라믹 원료 입도에 따른 소결용 분말 선정 기술 개발 - YxOyFz의 분말 제조 공정 및 과립화에 따른 성형성 비교 - YxOyFz의 조성비에 따른 물성 평가 - YxOyFz 소재의 미세구조-물성 관계 고찰* 40 mm급 불화물계 소결 기술 확보 - 성형 기술 최적화 - 열처리 조건에 따른 YxOyFz 소재의 결정상 ... | ||
| 기대효과 | * 반도체 세정 제조 공정용 300 mm급 고밀도·고품질 불화물계 세라믹스 소재 기술 개발에 따른 세정 공정 부품 교체 가능* 오염입자 발생 최소화에 따른 반도체 불량률 저감, 공정 부품 수명 향상에 따른 부품 교체 주기 연장 가능 | ||
| 키워드 | 반도체,불화물,세정부품,내플라즈마,세라믹 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | 기타 | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 재료 > 세라믹재료 > 세라믹제조공정기술 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(비금속광물 및 금속제품) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (주)단단 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (주)단단 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 300,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
|---|---|---|---|
| 비고 | |||