과제 상세정보
목록반도체 요소부품 정전기 방지 공정개발 및 준 양산장치 제작
작성자
관리자
조회수
190
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업) |
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과제 기본정보
| 과제명 | 반도체 요소부품 정전기 방지 공정개발 및 준 양산장치 제작 | ||||
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| 과제고유번호 | 1425141020 | ||||
| 부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 계속과제 | 이전연도 과제번호 | 1425135370 | ||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2019-11-06 ~ 2021-11-05 | 당해연도 연구기간 | 2020-01-01 ~ 2020-11-05 |
요약 정보
| 연구목표 | 50kV, 20mA 이온원 설계 제작 고전압 인출단 설계 제작 고진공 대용량 챔버 설계 제작 Jig 시스템 설계 제작 플라즈마 및 인출 전원 구매 진공 시스템 구매 가스공급 장치 구매 냉각장치 구매 X-ray 차폐 설계 제작 | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | 고전압 이온원 설계 제작 대전류 발생부 설계 제작 50kV 가속전압 인가 인출단 설계 제작 반도체 공정 요소부품 이온빔 조사용 진공 챔버 설계 제작 진공챔버 고정용 지그 제작 플라즈마 발생, 인출, 금속이온 발생용 전원 구입 진공 시스템 구축 기체공급 시스템 구축 냉각 시스템 구축 방사선 차폐 시스템 구축 | ||
| 기대효과 | 반도체 요소부품 정전기 방지 준 양산장치 설계 및 제작 반도체 요소부품 정전기 방지 준 양산장치 세부요소 성능 시험 반도체 요소부품 정전기 방지 준 양산장치 종합 평가 반도체 요소부품 정전기 방지 준 양산장치 구축 | ||
| 키워드 | 이온원,정전기 방지,이온빔 조사,표면 개질,표면전기전도도 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 재료 > 고분자재료 > 개질기술 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전기 및 기계장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (주)라드피온 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (주)라드피온 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 이학 |
사업비
| 국비 | 300,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||