150도 이하 무전사 직성장 12인치급 그래핀 기반의 헬스케어 센서 모듈용 적외선 광센서 개발
사업 정보
| 내역사업 |
2020년도 산학 Collabo R&D사업(예비연구) 시행계획 공고 |
과제 기본정보
| 과제명 |
150도 이하 무전사 직성장 12인치급 그래핀 기반의 헬스케어 센서 모듈용 적외선 광센서 개발 |
| 과제고유번호 |
1425142875 |
| 부처명 |
중소벤처기업부 |
| 시행계획 내 사업명 |
|
| 시행계획 내 사업유형 |
|
예산출처지역 |
대전광역시 |
사업수행지역 |
대전광역시 |
| 계속/신규 과제구분 |
신규과제 |
| 과제수행연도 |
2020 |
총연구기간 |
2020-06-29 ~
2021-02-28
|
당해연도 연구기간 |
2020-06-29 ~
2021-02-28
|
요약 정보
| 연구목표 |
목표: 초고감도 적외선 광센서 개발을 위한 소재 원천기술 개발 및 소자 제작 방법 확립(1) 150℃이하 저온 무전사 직성장 그래핀 성장 원천기술 개선(2) 12인치급 무결점 저온 무전사 대면적 직성장 그래핀 박막 제조장치 개발(3) 고성능/고신뢰성 초고감도 그래핀 광소자 제작 공정 기술 개발 |
| 연구내용 |
(1) 150℃이하 저온 무전사 직성장 그래핀 성장 원천기술 개선 -. 투명 유연 전극용 폴리머 기반 기판 사용을 위한 온도 제어 -. 티탄(Ti) 버퍼층 제어를 통한 박막 두께 품질 개선 -. 전구체(Precursor; H2, CH4) 제어기술 표준화(2) 12인치급 무결점 저온 무전사 대면적 직성장 그래핀 박막 제조장치 개발 -. 기판-free(Si ... |
| 기대효과 |
(1) 빠른 상용화를 위해 주관기관과 공동개발기관간의 업무분장과 원활한 협력체계를 구축.(2) 주관기관인 국일그래핀(주)에서는 저온 무전사 직성장 PAT-CVD 공법 기반으로 12인치급 그래핀 합성기술의 원천 기술 확립과 대면적으로 성장된 그래핀의 특성을 평가하고 공정 표준화 및 공정 품질관리체계를 개발할 예정임.(3) 공동개발기관 충북대학교는 국일 그래핀... |
| 키워드 |
그래핀,센서,적외선,웨어러블,화학기상증착 |
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 |
기업 |
대학 |
국공립(연)/출연(연) |
외국연구기관 |
기타 |
|
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|
기술 정보
| 연구개발단계 |
개발연구 |
산업기술분류 |
|
| 미래유망신기술(6T) |
NT(나노기술) |
기술수명주기 |
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| 연구수행주체 |
산 |
과학기술표준분류 |
인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > Sensor용 소자 |
| 주력산업분류 |
|
적용분야 |
제조업(비금속광물 및 금속제품) |
| 중점과학기술분류 |
|
과제유형 |
|
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 |
과제수행기관(업)명 |
국일그래핀 |
사업자등록번호 |
|
| 연구책임자 |
소속기관명 |
국일그래핀 |
사업자등록번호 |
|
| 최종학위 |
박사 |
최종학력전공 |
공학 |
사업비
| 국비 |
49,900,000
|
지방비(현금+현물) |
0
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| 비고 |
|
사업 정보
| 내역사업 |
2020년도 산학 Collabo R&D사업(예비연구) 시행계획 공고 |
과제 기본정보
| 과제명 |
150도 이하 무전사 직성장 12인치급 그래핀 기반의 헬스케어 센서 모듈용 적외선 광센서 개발 |
| 과제고유번호 |
1425142875 |
| 부처명 |
중소벤처기업부 |
| 시행계획 내 사업명 |
|
| 시행계획 내 사업유형 |
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| 예산출처지역 |
대전광역시 |
| 사업수행지역 |
대전광역시 |
| 계속/신규 과제구분 |
신규과제 |
| 과제수행연도 |
2020 |
| 총연구기간 |
2020-06-29 ~
2021-02-28
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| 당해연도 연구기간 |
2020-06-29 ~
2021-02-28
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요약 정보
| 연구목표 |
목표: 초고감도 적외선 광센서 개발을 위한 소재 원천기술 개발 및 소자 제작 방법 확립(1) 150℃이하 저온 무전사 직성장 그래핀 성장 원천기술 개선(2) 12인치급 무결점 저온 무전사 대면적 직성장 그래핀 박막 제조장치 개발(3) 고성능/고신뢰성 초고감도 그래핀 광소자 제작 공정 기술 개발 |
| 연구내용 |
(1) 150℃이하 저온 무전사 직성장 그래핀 성장 원천기술 개선 -. 투명 유연 전극용 폴리머 기반 기판 사용을 위한 온도 제어 -. 티탄(Ti) 버퍼층 제어를 통한 박막 두께 품질 개선 -. 전구체(Precursor; H2, CH4) 제어기술 표준화(2) 12인치급 무결점 저온 무전사 대면적 직성장 그래핀 박막 제조장치 개발 -. 기판-free(Si ... |
| 기대효과 |
(1) 빠른 상용화를 위해 주관기관과 공동개발기관간의 업무분장과 원활한 협력체계를 구축.(2) 주관기관인 국일그래핀(주)에서는 저온 무전사 직성장 PAT-CVD 공법 기반으로 12인치급 그래핀 합성기술의 원천 기술 확립과 대면적으로 성장된 그래핀의 특성을 평가하고 공정 표준화 및 공정 품질관리체계를 개발할 예정임.(3) 공동개발기관 충북대학교는 국일 그래핀... |
| 키워드 |
그래핀,센서,적외선,웨어러블,화학기상증착 |
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 |
기업 |
대학 |
국공립(연)/출연(연) |
외국연구기관 |
기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 |
개발연구 |
| 산업기술분류 |
|
| 미래유망신기술(6T) |
NT(나노기술) |
| 기술수명주기 |
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| 연구수행주체 |
산 |
| 과학기술표준분류 |
인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > Sensor용 소자 |
| 주력산업분류 |
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| 적용분야 |
제조업(비금속광물 및 금속제품) |
| 중점과학기술분류 |
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| 과제유형 |
|
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 |
| 과제수행기관(업)명 |
국일그래핀 |
| 사업자등록번호 |
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| 연구책임자 |
| 소속기관명 |
국일그래핀 |
| 사업자등록번호 |
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| 최종학위 |
박사 |
| 최종학력전공 |
공학 |
사업비
| 국비 |
49,900,000
|
| 지방비(현금+현물) |
0
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| 비고 |
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