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2024-05-21
| 내역사업 | 2020년도 테크브릿지활용 상용화 기술개발사업 제1차 시행계획 수정공고 |
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| 과제명 | 공동음극형 고전류 소형집속 이온건을 적용한 고속(1mm급) 나노식각 및 단면가공 장비 상용화 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1425144091 | ||||
| 부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2020-08-01 ~ 2022-07-31 | 당해연도 연구기간 | 2020-08-01 ~ 2021-07-31 |
| 연구목표 | - 나노 단층면 분석을 위한 800㎛/hour 성능을 가지는 소형 식각 및 가공 장비의 개발 - 이온건에 필요한 8kV 전원 장치 개발 - 고진공 시스템 및 고배율(60배) 비전시스템 개발 - 1단 펠티어 쿨스티이지, 카본코팅 모듈, 에어락 모듈 등의 옵션장치 개발 | ||
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| 연구내용 | 소형이온건 시뮬레이션, 설계 및 제작 (800μm/h이상) - 챕버 및 고분해능 스테이지 개발 (행정거리 : 25mm, 정밀도 : ±100μm 이하) - 1단 펠티어 쿨스테이지 개발 (-20°C 이하) - 시료관찰을 위한 60배 이상 고해상도 비젼시스템 개발 (x60배) - 카본코팅 모듈 개발 - 에어락 모듈 개발 - 시스템 제어보드 개발 - 8kV ... | ||
| 기대효과 | - 공동음극형 고전류 소형이온건 기술의 기초확립 - 옵션장치(쿨스테이지, 카본코터, 에어락)의 기본기능 구현을 통한 양산개발 기반조성 - EBSD, EBIC에 특화된 플랫밀링 이온식각 플랫폼 구현 - 이온건 고압전원장치 기본 기술구현을 통한 내재화 | ||
| 키워드 | 이온소스,에칭,식각,단면가공,전자후방산란회절분석 | ||
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 정밀생산기계 > 연삭/연마 가공기계 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(의료,정밀,광학기기및시계) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 코셈 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 코셈 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 석사 | 최종학력전공 | 공학 |
| 국비 | 209,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||