| 연구목표 |
OLED는 유기물을 재료로 사용하기 때문에 산소 및 수분에 매우 취약하고 nm 단위의 박막으로 제작되기 때문에 고정밀 제어 기술이 중요한데 진공 공정 중에는 필름의 물성 분석이 어려워 증착면 내부의 균일도 및 공정 재현성을 정밀하게 유지하기가 어려우므로, 광학 분석을 기반으로 in-situ 측정 기술을 접목한 열증착장비는 실시간으로 필름의 물성을 계측하여 ... |
| 연구내용 |
1. 광학 분석 모듈의 원리 - 바닥 상태에 있는 원자나 분자가 자외선 및 가시광선을 흡수하면서 전자전이가 발생함. 따라서 다양한 파장의 광원을 조사하여 어떤 파장의 빛을 흡수하는지 파악하는 것은 물질의 광학 분석에서 가장 기본이 되고 중요한 분석법임 - 하지만 OLED 소자가 제작되는 넓은 면적의 기판을 모든 파장의 스펙트럼으로 분석하려면 시간이 ... |
| 기대효과 |
1. 기술적 활용방안 - 진공 증착 공정 중인 유기물 반도체 물질의 전기적, 광학적 특성을 정확하게 분석할 수 있을 것으로 기대됨 - 다양한 구조의 소자들(OLED, TFT 등)에 적용할 수 있는 장비 기술을 확보함으로써 구매처의 추가적인 제한요소 상황에서도 능동적으로 대응할 수 있음 - 장비의 소형화와 모듈화를 통하여 동시에 많은 소자를 분석 ... |
| 키워드 |
유기발광소자,유연,열증착기,진공,코팅 |