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Micro-hollow Cathode가 적용된 Glow discharge ionic MEMS 유속계 개발

작성자

관리자

조회수

67

등록일

2024-05-21

사업 정보
내역사업 2020년도 창업성장기술개발사업 '디딤돌 창업과제(첫걸음)' 제2차 시행계획 공고
과제 기본정보
과제명 Micro-hollow Cathode가 적용된 Glow discharge ionic MEMS 유속계 개발
과제고유번호 1425146754
부처명 중소벤처기업부
시행계획 내 사업명
시행계획 내 사업유형 예산출처지역 대전광역시 사업수행지역 대전광역시
계속/신규 과제구분 신규과제
과제수행연도 2020 총연구기간 2020-12-31 ~ 2021-12-30 당해연도 연구기간 2020-12-31 ~ 2021-12-30
요약 정보
연구목표 유체 속도와 방향 측정이 가능한 ionic MEMS 유속계 개발 - 유체 Glow discharge시 발생되는 이온(플라즈마)을 계측 물리량으로 활용한 유속계 개발 - Micro-hollow Cathode를 적용하여 MEMS 유속 센서 개발 - 유체 속도와 방향 측정이 가능한 유속 센서 개발
연구내용 주관기관 개발내용 Micro-hollow Cathode를 포함한 MEMS 센서부 설계 - Micro-hollow Cathode 기구적인 형상 및 치수 설계 - DC 전원 공급을 위한 전원부와 인터페이스 설계 방전 전원 설계 - DC 전원생성을 위한 전원 설계 - 이온화 효율을 상승시키기 위...
기대효과 · 세계 유속센서 시장은 대략 2018년 6,880백만 달러에서 2022년 8,561백만 달러로 성장할 전망이나 미국, 유럽, 일본 등 일부 국가의 기업이 세계 센서시장의 약 70%를 점유하고 있고, 국내기업의 세계시장 점유율은 1.6%, 국내시장 점유율은 23%에 불과함. 그래서 만약 국내기업이 센서 핵심원천 기술 확보 및 혁신적인 제품 개발로 국내외 ...
키워드 유속계,이온,음극관,방전,멤스
위탁/공동여부 정보
단독연구 기업 대학 국공립(연)/출연(연) 외국연구기관 기타
기술 정보
연구개발단계 개발연구 산업기술분류
미래유망신기술(6T) 기타 기술수명주기
연구수행주체 과학기술표준분류 인공물 > 전기/전자 > 계측기기 > 계측센서/부품
주력산업분류 적용분야 제조업(전기 및 기계장비)
중점과학기술분류 과제유형
과제수행기관(업) 정보
과제수행기관(업) 정보 과제수행기관(업)명 디시티 랩 사업자등록번호
연구책임자 소속기관명 디시티 랩 사업자등록번호
최종학위 학사이하 최종학력전공 공학
사업비
국비 68,500,000 지방비(현금+현물) 0
비고