| 연구목표 |
OLED소자 제작공정에서 주관기관인 지엘테크(주)는 지엘테크는 NUV 파장을 이용해서 미세패턴과 표면형상을 동시에 측정 가능한 자동 측정하는 장비를 개발하고자 하며, 이를 위하여 측정알고리즘 및 H/W, S/W를 개발하고, 참여기관인 한국생산기술연구원에서는 기보유한 장비를 활용하여 OLED소자를 제작하고, 시험 및 측정분석 결과를 피드백 하여 측정에 필요한... |
| 연구내용 |
?기구부, 광학계, 전기.전장부 개발목표- 정밀 X/Y/Z축 스테이지, 하부.외곽프레임, 진공테이블, 렌즈터렛?제어프로그램, 알고리즘, UI 개발목표- User Interface, X/Y/Z 제어, 자동터렛 제어프로그램- 3차원 알고리즘 개발?1차 시험분석용 OLED소자 제작?자동설비 측정항목 개발?시험 및 측정분석 지원 ?사업화 및 마케팅 지원?기구부, ... |
| 기대효과 |
○ OLED 패턴에 대한 2um이내 미세패턴 측정을 하기 위해서 현재 지엘테크는 준비가 되어 있지 않지만 본 과제를 통해서 2um의 미세패턴 측정과 동시에 나노 단위로 표면의 형상을 측정하는 자동 장비를 개발된다면 향후 OLED 공정에 국내 뿐만 아니라 해외에 판매할 수 있을 것으로 기대됨.○ NUV 파장을 이용해서 미세패턴 측정과 표면형상 측정에 대한 자... |
| 키워드 |
NUV파장, 임계치수, 표면형상, 유기발광다이이오드, 자동측정 |