| 연구목표 |
SiC 기반 센서용 고온 소재?공정 기술을 개발하여 SiC 기반의 극한환경형 센서 공정플랫폼을 구축하고 산학연에 서비스 제공을 목표로 한다. 고온(300℃) 환경에서 초정밀 수소 센싱이 가능한 MIS 및 FET SiC 센서용 고온 안정 Schottky 및 Ohmic 접합 재료 및 600℃까지 작동 가능한 고온 안정성 신기능 감지물질을 개발한다. 이를 적용하... |
| 연구내용 |
1. MIS 및 FET SiC 수소센서용 고온 안정 접합 소재 및 신기능 감지물질 기술 개발 1.1. 고온 안정성 SiC 센서 Schottky 접합 소재 개발 1.2. 고온 안정성 SiC 센서 Ohmic 접합 소재 개발 1.3. 고온 동작 가능한 고온 안정성 나노신소재 기반 수소 감지물질 개발2. 수소센서 시작품의 설계, 고온 소재 적용 및 특성평가 ... |
| 기대효과 |
SiC 기반의 센서는 화학적, 물리적으로 안정하여 300°C 고온에서도 동작이 가능하고 표면, bulk 구조물 형성이 가능하며 자동차, 유해성 공장, 미래 항공 우주의 극한 환경 동작 및 고감도, 재현성 있는 센서를 제작하기 위한 공통 요소 기술로서 다양한 센서 분야에 널리 사용될 수 있어 파급효과 크며 센서 산업의 특성상 다품중 소량 생산으로 조화로운 산... |
| 키워드 |
센서,고온 안정성,SiC |