과제 상세정보
목록초소형 나노구조용 나노금속도금 공정 및 평가 플랫폼 개발
작성자
관리자
조회수
145
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 기존과제(선행공정·플랫폼기술연구개발사업) |
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과제 기본정보
| 과제명 | 초소형 나노구조용 나노금속도금 공정 및 평가 플랫폼 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711105119 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 계속과제 | 이전연도 과제번호 | 1711094191 | ||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2015-10-01 ~ 2020-08-31 | 당해연도 연구기간 | 2020-01-01 ~ 2020-08-31 |
요약 정보
| 연구목표 | ○ NEMS 구조 고정밀 나노금속도금 wafer level 공정 플랫폼 구축 - Au 나노도금층 두께특성 조절 (100nm 이하 두께 균일성) - 나노도금을 위한 마이크로/나노 구조제작 공정 확보 (200nm 이하크기) - 고종횡비 나노도금 구조 제작 공정확보 (10:1 이상) - 대면적 wafer 기반 나노도금 공정 확보 (8인치 wafer 기반 공정)... | ||
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| 연구내용 | ○ 대면적 나노섬유 나노구조 제작 및 나노도금공정 기반 나노소자 공정기술 개발, 해당 공정라이브러리 구축 - 대면적 전기방사 공정 개발을 통한 다공성 나노섬유 및 전도성 나노섬유 기반의 나노구조기판 제작 및 공정 플랫폼 구축 - 나노섬유기반 나노구조기판과 전기/무전해 나노도금 공정을 통한 에너지, 센서, 웨어러블 소자 응용기술 개발○ SSL과 나노도금 융합... | ||
| 기대효과 | ○ 초소형 나노구조용 나노금속도금 공정 및 평가 플랫폼 개발 - 초소형 NEMS 공정을 위한 나노금속도금 공정, 장비 및 평가 플랫폼 기술 확보 ○ NEMS 구조 고정밀 나노금속도금 wafer level 공정 플랫폼 구축 - 차세대 나노스케일 공정기술로서 나노금속도금 선행공정 개발 - 나노인프라에 구축된 8인치 wafer 기반 공정기술을 통해 새로운 나노공... | ||
| 키워드 | 나노공정,도금,나노구조,나노분석,투과전자현미경,스마트 센서 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 응용연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 재료 > 국방소재 > 나노재료/공정 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 나노종합기술원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 나노종합기술원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 39,901,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||