과제 상세정보
목록초박형 능동 수퍼렌즈 제조기술 개발
작성자
관리자
조회수
164
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 미래유망 융합기술 파이오니아사업 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 초박형 능동 수퍼렌즈 제조기술 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711105221 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 계속과제 | 이전연도 과제번호 | 1711082166 | ||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2014-09-15 ~ 2020-02-29 | 당해연도 연구기간 | 2020-01-01 ~ 2020-02-29 |
요약 정보
| 연구목표 | 초박형 능동 위상제어 나노구조 및 전극 플랫폼 기술 개발 ? 플라즈모닉 나노구조 공정기술 신뢰성 개선 ? 능동제어 플라즈모닉 나노구조 공정 및 적용기술 ? 멀티채널 위상제어 전극 플랫폼 설계 제작 ? 능동 위상제어 광학소자 적용 및 성능개선 최적화 | ||
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| 연구내용 | ○ 고신뢰성 나노패턴 공정기술 개발 ? 대면적 공정 신뢰성 (재현성, 균일도 및 결함 최소화) 기술 ? 비평탄 기판 적용 페터닝 공정기술○ 나노구조 기반 플라즈모닉 특성 제어 기술 ? 메탈증착 및 나노구조 형상제어기술 연구○ 능동수퍼렌즈 적용기술 개발 ? 액정기반 플라즈모닉 셀 조립공정 ? 광특성 제어 메커니즘 연구○ 멀티채널 액정 구동용 수퍼렌즈... | ||
| 기대효과 | ○ 차세대 리소그래피 장비 기술에 대한 자립은 반도체 장비의 막대한 수입대체 (약 5000 억원/년 예상) 효과는 물론이고, 국내 반도체 산업이 가지고 있는 가장 취약한 부분을 보완하여 국내 반도체 산업은 강력한 국제 경쟁력을 확보할 수 있게 될 것이다. 이에 차세대 리소그래피 원천기술을 바탕으로 새로운 장비를 개발하였을 경우 리소그래피 장비의 국제 시장을... | ||
| 키워드 | 나노임프린트,플라즈모닉 공명,메타물질,금속 나노패턴,나노임프린트,플라즈모닉 공명,메타물질,금속 나노패턴 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기초연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 나노/마이크로기계시스템 > 시스템 특성분석/신뢰성 평가기술 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 에너지 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국기계연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국기계연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 20,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||