| 연구목표 |
본 연구는 사물인터넷용 나노 실리콘 기반 센서의 기반기술 개발을 위하여 첫째로 나노 실리콘 기반 단일광자검출센서의 표준공정을 구축하며 이를 활용한 광학분석기용 광학센서를 개발함. 둘째로 대면적 저가형 CMOS-compatible한 실리콘 나노와이어 어레이 표준공정을 구축하고, 고감도센싱에 적합한 실리콘 나노와이어의 FET 특성, 광 특성, 압저항 특성을 확... |
| 연구내용 |
[세부주제 1] 나노 실리콘 반도체 기반 단일광자검출센서 공정플랫폼 기술개발 ○ 나노 실리콘 반도체 기반 단일광자검출센서 공정플랫폼 기술개발 - 저전압 (30V 이하), 고증폭률 (106배 이상), 고속 (0.5ns 이하), 저잡음 (5nA/mm2 이하, 8MHz/Channel 이하) 성능 확보 ○ 나노 실리콘 반도체 기반 단일광자검출센서 표준... |
| 기대효과 |
○ 나노 실리콘 기반 센서 표준공정 플랫폼 및 회로 기술을 개발하고 이를 사물인터넷용 센서 제품 개발을 희망하는 기술 수요자에게 제공하여 상용화를 견인 - 사물인터넷 나노 실리콘 반도체 기반 핵심기술 및 지적 재산권 확보 - 사물인터넷 센서산업의 국산화 기술 대체 및 세계적 경쟁력 확보 - 신산업 창출을 통한 사물인터넷 기술에 건전한 생태계... |
| 키워드 |
사물인터넷,나노 실리콘 센서,표준공정 플랫폼,단일광자검출센서,광학센서,실리콘 나노와이어,고감도센서,센서용 인 |