과제 상세정보
목록연구로 중성자 포획반응 기반 반도체 비파괴 분석 기술 개발
작성자
관리자
조회수
149
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 방사선융합기술개발(지정주제_대형) |
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과제 기본정보
| 과제명 | 연구로 중성자 포획반응 기반 반도체 비파괴 분석 기술 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711105782 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 계속과제 | 이전연도 과제번호 | 1711097702 | ||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2018-05-15 ~ 2022-10-31 | 당해연도 연구기간 | 2020-01-01 ~ 2020-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | ○ 차세대 반도체로서 대두되는 SiC를 하나로 연구로의 중성자 도핑 기술을 이용해 생산하기 위해서는 불순물에 대한 정확한 분석과 균질한 중성자 조사가 이루어져야 하므로, - 중성자 방사화 분석 기술 향상을 통해 극미량 불순물과 중성자 도핑 시 불순물에 의해 발생하는 방사성 물질을 정확히 평가하고, - 중성자 공간 분포 및 위치별 에너지 특성을 평가하기 ... | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | ○ 고순도 반도체 분석용 극미량 불순물 검출 기술 및 정량 평가 기술 개발 - 시료 부피 및 불순물 수준에 따른 NAA 분석절차 개발 - 극미량 (ppm-ppt 수준)불순물 분석기술 개발 - Si 반도체중의 중요 관심원소에 대한 융합 분석 기술 확립 - 실제시료에 대한 일상 분석법 확립○ 중성자 플럭스 공간 분포 및 중성자 에너지별 공간 분포 측정 ... | ||
| 기대효과 | ○ (과학적) 중성자 균질 조사를 위한 향상된 중성자 모니터링 기술의 활용을 통한 중성자 연구기반 확대 ○ (경제적) 중성자 모니터링 키트 개발을 통해 중성자 검출기 시장 육성에 기여○ (산업적) 극미량 원소 검출 기술을 이용해 국가 측정 역량을 강화하고, 미래 방사선 산업의 국가 경쟁력을 향상 | ||
| 키워드 | 반도체 도핑,중성자 방사화 분석,불순물 분석,배열형 조사 시편,큰 부피 시료 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 응용연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | 기타 | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 원자력 > 원자력 기반 기술 > 연구용 원자로 이용기술 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 기타 공공목적 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국원자력연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국원자력연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 400,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||