과제 상세정보
목록마이크로/나노 소자 수율 향상을 위한 박막 고온 기계적 물성 측정 및 신뢰성 분석/향상을 위한 연구
작성자
관리자
조회수
58
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 우수신진연구 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 마이크로/나노 소자 수율 향상을 위한 박막 고온 기계적 물성 측정 및 신뢰성 분석/향상을 위한 연구 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711106671 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 계속과제 | 이전연도 과제번호 | 1711091655 | ||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2019-03-01 ~ 2022-02-28 | 당해연도 연구기간 | 2020-03-01 ~ 2021-02-28 |
요약 정보
| 연구목표 | 연구의 최종목표:- 고온에서 박막 구조재료 신뢰성 평가를 위한 시험 장치 및 해석 기법을 개발하고, 이를 마이크로/나노 구조물에 적용하여 기계적 거동을 측정한다.- 고온에서의 박막 구조재료 변형 메커니즘 및 피로 수명을 분석한다.- Passivation layer로 인한 박막의 기계적 거동 변화 측정 및 온도 변화에 의한 영향을 이해한다.- 고온 물성/신뢰... | ||
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| 연구내용 | 마이크로/나노 소자 기술이 다양한 분야에서 각광받고 있는 가장 큰 이유는 기존의 Macro 시스템을 초소형화하여 다양한 기능의 소자들을 집적화 할 수 있고, 저가화를 실현 할 수 있기 때문이다. 이러한 마이크로/나노 소자의 성공적인 상품화를 위해서는 소자의 신뢰성 기반 설계 및 평가 기술 연구가 필수적이며, 표준화된 소자의 설계와 공정 기술이 확립되어야 한... | ||
| 기대효과 | - 본 연구를 통해서 구축하고자 하는 온도에 따른 박막의 기계적 물성 데이터베이스는 미세기전 소자뿐만 아니라 최근 활발히 개발되고 있는 유연 전자 기술 (flexible electronics)에도 그대로 활용될 수 있는 범용적인 정보 라이브러리가 될 것으로 기대한다. 그리고 신뢰성 평가 기술은 미세기전 구조물이 상용 제품화되기 위한 원천기술로써 최종 제작된... | ||
| 키워드 | 박막 구조재료,기계적 물성,신뢰성,인장 강도,피로 강도,마이크로 소자,고온 기계적 거동,나노구조 박막,금속 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기초연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 학 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 측정표준/시험평가기술 > 신뢰성/비파괴평가 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전기 및 기계장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국과학기술원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 100,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||