| 연구목표 |
본 연구의 최종목표는 단결정 VO2 판상 소재 기반의 박막을 이용한 고성능 및 유연 광대역 적외선 센서 제작 및 중·원 적외선 감지 특성을 연구하는 것임. 아직까지 보고된 바 없는 원천 소재인 판상 형태를 가진 VO2 단결정 소재를 이용하여 기존 열형 적외선 센서 소자에 비해 크게 향상된 온도-저항 계수(TCR), 감응도(Responsivity), 광검출도... |
| 연구내용 |
■ 1차년도: 단결정 VO2 판상 소재 기반 박막을 이용한 적외선 센서 개발 및 온도-저항 특성평가- VO2 박막 기반 적외선 센서 소자 디자인 및 제작 공정 개발- VO2 기반 적외선 센서 소자의 온도-저항 특성 분석 및 신뢰성/균일도 평가 ■ 2차년도: 단결정 VO2 판상 소재 기반 박막을 이용한 적외선 센서 소자의 감지특성 향상 연구- 열 고립구조를 ... |
| 기대효과 |
• 과학기술적 측면: 본 과제는 새로운 소재의 전기적‧광학적‧기계적 복합물성을 분석하고 이를 기반으로 응용 소자를 개발하는 다학제 융합연구임. 본 연구를 통해 복합 물성 및 다기능‧고성능 응용소자에 관한 새로운 지식 창출 및 학문적 이해 폭을 넓힐 수 있을 것으로 기대됨. • 경제/산업적 측면: 광대역 적외선 센서의 경우 열 화상, 분광센서, 가스센서 ... |
| 키워드 |
단결정 소재,판상 소재,VO2,바나듐옥사이드,박막 소재,적외선 센서,열형 적외선 센서,마이크로 볼로미터,유연 |