과제 상세정보
목록3차원 전 영역 고분해능 및 초고속 표면 검사 광학 영상기술 개발
작성자
관리자
조회수
80
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | (유형2)중견연구 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 3차원 전 영역 고분해능 및 초고속 표면 검사 광학 영상기술 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711113494 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2020-03-01 ~ 2025-02-28 | 당해연도 연구기간 | 2020-03-01 ~ 2021-02-28 |
요약 정보
| 연구목표 | 3차원 전 영역 고분해능 및 초고속 표면 검사 광학 영상기술 개발: 횡 방향 수백 nm, 종 방향 수십 nm 수준의 고분해능 표면 영상을 시편의 3차원적 위치와 상관없이 (이미징하려는 시편 표면이 이미징 빛의 초점에서 많이 벗어난 위치에 있더라도) 얻어내는 이미징 기술과, 이러한 고분해능 영상을 초고속으로 획득하여 넓은 영역을 짧은 시간 안에 이미징하는 광... | ||
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| 연구내용 | 1. 초고속 OCM 기술 개발초고속 OCM (Optical Coherence Microscopy)는 20~100 MHz A-line 속도의 SPML (Stretched Pulse Mode Locking) 방식 초고속 파장변환레이저를 개발하고 이를 광원으로 사용한 OCM 시스템을 구현.SPML 기반의 초고속 파장변환 레이저는 망막 이외의 응용에서 가장 많이 ... | ||
| 기대효과 | 반도체, 디스플레이와 같은 정밀 제조 공정에서 고분해능 광학 표면 영상은 공정 모니터링 및 불량검사 등의 역할을 수행하는 매우 중요한 영상 기술로서, 미국만의 표면 영상 및 검사장비 시장규모가 연간 4조 원에 가까운 산업적으로 경제적으로 매우 중요한 첨단 장비 기술임.현장으로부터 고속 3차원 표면 영상 기술에 대한 요구가 급증하고 있으나, 현재의 기술들은 ... | ||
| 키워드 | 고분해능 3차원 표면 검사 광학 영상,초고속 광학 영상,초고속 광간섭 단층 현미경,3차원 전 영역 고분해능, | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기초연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | 기타 | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 학 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 광응용기기 > 광계측/제어기기 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(의료,정밀,광학기기및시계) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국과학기술원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 이학 |
사업비
| 국비 | 380,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||