| 연구목표 |
본 연구의 최종 목표는 새롭게 떠오르고 있는 화학 증착 방법 중 하나인 Sequential Infiltration Synthesis(SIS, 순차적 침투 합성)를 이용하여 투명전도성 산화물(Transparent Conducing Oxide, TCO)로 이루어진 membrane을 제작하고, 이를 수중 휘발성 유기화합물(Volatile Organic Compo... |
| 연구내용 |
각 연차별 연구내용은 아래와 같다.1년차: SIS 과정 중에서 precursor 종류에 따라 polymethylmethacrylate(PMMA) 내 확산 속도와 precursor와 C=O 작용기의 반응성에 대해서 근본적으로 이해한다. 이에 대한 지식을 바탕으로, 3차원 membrane 구조(두께: 10μm 이상)상에서 두께방향 즉, precursor 침투방... |
| 기대효과 |
SIS는 새로운 산업적 인프라 없이 기존의 Atomic Layer Deposition 환경에서 구현될 수 있으므로 ALD 관련 학계 및 산업계에 널리 확대될 수 있는 가능성이 높다. 그동안 SIS를 이용하여서 Al2O3, ZnO, In2O3의 박막 및 나노패턴의 구현이 보고되었으나, 현재까지 정확한 SIS 기제에 대한 이해가 부족하다. 따라서 본 연구를 통... |
| 키워드 |
순차적 침투 합성,멤브레인,투명전도성산화물,휘발성 유기화합물,분광전기화학,물 투과 전극 |