| 연구목표 |
o 나노급 정확도를 가지는 홀로그램 기반 3차원 형상 정보 복원 기술 개발 - 10 mm2 의 영역에서 10 fps 복원 속도로 500 nm 깊이 해상도와 λ/128 위상편차 및 0.5 rad 미만의 계측 정확도를 갖는 3차원 형상 정보 계측 및 형상 복원하는 디지털 홀로그래픽 메트롤로지 계측 알고리즘 개발 o End Product . 디지털 ... |
| 연구내용 |
ㅇ나노스케일급 디지털 홀로그래피 메트롤로지 알고리즘 개발 - 깊이 방향 측정 분해능 500 nm 이하급의 초정밀 디지털 홀로그램 획득 기술 - 가간섭성 광원을 적용하여 획득한 위상 정보 획득/처리 기술 - 측정 대상 특성에 따른 반사/투과 디지털 홀로그래피 메트롤로지 시스템ㅇ대면적 고속 홀로그램 획득/처리 알고리즘 기술 개발 - 단일 측정 최대면적 ... |
| 기대효과 |
o 결과물 활용 방안 - 홀로그램 기반 3차원 정보 추출/복원 기술 제공으로 실시간 3차원 검사 분야의 기술 리더쉽 확보에 활용 - 3차원 검사 장비 기술 제공으로 고정밀 계측 산업 주도권 확보 기술로 활용 - 초고해상도 OLED 디스플레이 패널 표면 검사 장비 구축 및 관련 서비스 제공을 위한 핵심 기술로 활용 - 홀로그래피 기반 초정밀 실시... |
| 키워드 |
3차원 계측,디지털 홀로그래피,디지털 홀로그래픽 현미경,위상 검출,홀로그래픽 계측 |