과제 상세정보
목록산화갈륨 에피층 및 도핑층의 구조분석 및 원자단위 분석 기술 개발
작성자
관리자
조회수
89
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 소재혁신선도 프로젝트 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 산화갈륨 에피층 및 도핑층의 구조분석 및 원자단위 분석 기술 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711119199 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2020-05-15 ~ 2024-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2020-05-15 ~ 2021-01-14 |
요약 정보
| 연구목표 | 산화갈륨 에피층과 채널 도핑층의 구조분석 및 이동도 향상을 위한 원자단위 구조분석 기술 개발을 수행하여 다음의 목표를 달성○ 산화갈륨 기판 및 에피층의 구조 결함 양상 파악 및 해석 ○ 산화갈륨 에피소재 에피층의 원자단위 구조분석기술 개발 적용○ 이동도 향상을 위한 다층채널층 계면 및 결함의 원자단위 분석기술개발 적용○ 산화갈륨 에피 채널층 캐리어 분포의... | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | ○ 상용 산화갈륨 기판의 결정면에 따른 구조결함 양상 파악 ○ 상용 산화갈륨 기판의 에치핏 형성을 이용한 표준화된 전위밀도 평가 방법 개발 ○ 산화갈륨 에피층의 구조 결함 양상 파악 및 해석○ 산화갈륨 에피층의 1차원 전위결함 및 2차원 면결함의 원자단위 구조 결함 분석 및 해석○ 산화갈륨 채널층의 원자단위 결함 분석 ○ 다층 채널층간 계면 원자단위 분석 ... | ||
| 기대효과 | ○ 소재 및 소자 기술개발시 구조 분석이 요구되는 반도체 소재/소자 전반에 활용 ○ 산화갈륨 기반의 전력반도체 소재/소자는 물론 타 에피소재 개발/ 분석에 활용○ 전자 소재 및 소자, 광 소재 및 소자 등 단결정 기반 반도체 소재 및 소자개발 및 국내 기술 수준 향상에 기여 할 수 있도록 활용 ○ 전력반도체 에피소재에 존재하는 다양한 구조결함에 대한 체계적... | ||
| 키워드 | 산화갈륨, 구조결함, 투과전자현미경, 에피층, 도핑층, 원자레벨, 채널층, 캐리어분포 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 학 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 재료 > 분석/물성평가기술 > 재료구조/조직 분석기술 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 에너지 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 충남대학교 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 충남대학교 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 63,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
|---|---|---|---|
| 비고 | |||