| 연구목표 |
o 소형 건식진공펌프 핵심부품 성능 고도화 및 성능 검증 기술개발 - 핵심소재 부품 적용 적합성 평가 및 성능검증 기술개발 - 핵심부품 정밀가공 및 고내구성 박막 코팅 기술 개발 - 극한환경 대응 핵심부품·시스템 성능평가 기술개발 - 제품 신뢰성 검증 인프라 구축 |
| 연구내용 |
[1단계 (2020년~2022년)] o 1차년도 : 핵심소재기반 개발부품 정밀가공 및 성능평가 기법개발 - 로터, 샤프트, 스테이터 정밀가공 및 핵심부품 코팅 및 성능평가 기법개발 - 오염입자 실시간 모니터링 센서 기초 평가 모델 개발 - 소형 건식진공펌프 성능평가 환경구축 및 평가 시스템 개발 o 2차년도 : 600 L/min 건식진공펌프용 ... |
| 기대효과 |
o 정밀가공, 코팅 표면처리, TDS 분석으로 이어지는 일련의 과정에 의한 핵심부품 개발을 통해 진공을 기반으로 한 반도체 및 디스플레이 산업 전반에 널리 적용하고자 함 o 건식진공펌프 성능에 대한 국제규격의 시험평가 가이드라인을 만족하는 평가법 및 절차를 개발하여 신뢰성을 확보함으로써 국내제작 제품의 국제 경쟁력 향상 기대 |
| 키워드 |
건식진공펌프,로터,샤프트,스테이터,센서,내구성,내화학,내부식 |