과제 상세정보
목록초정밀 스테이지의 실시간 위치 및 자세결정 및 보정을 위한 광빗 기반 다채널 다자유도 초정밀 절대거리 측정기술 개발
작성자
관리자
조회수
93
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | (유형1-2)중견연구 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 초정밀 스테이지의 실시간 위치 및 자세결정 및 보정을 위한 광빗 기반 다채널 다자유도 초정밀 절대거리 측정기술 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711121008 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2020-09-01 ~ 2025-02-28 | 당해연도 연구기간 | 2020-09-01 ~ 2021-08-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 1. 펨토초 레이저 광빗 기반 다채널 동시 절대거리 측정기술 개발 (나노미터 급 정밀도)- 본 연구에서는 펨토초 레이저의 비행시간법을 기반으로 하는 나노미터급 정밀도의 다채널 동시 측정 시스템을 개발하고자 함. 나노미터급 정밀도 확보 및 다채널 측정을 위해 고반복률 펨토초 레이저 개발 및 광학적 변수 최적화 기법 제안, 다채널 측정 모듈 개발이 필요함. 또... | ||
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| 연구내용 | ○ 반도체, 디스플레이, 초고속 정보 통신 및 레이저 가공을 포함한 첨단산업을 주도하는 핵심 가공/측정 장비들은 하드웨어 면에서 초정밀 (ultra-precision)이라는 특성을 공통으로 하고 있고, 이에 요구되는 측정 장비의 정밀도는 반도체의 고집적화 및 다층화, 디스플레이의 복합 기능화 및 미세패턴화, 광자기 메모리 고용량화 그리고 광섬유 기반 다채널... | ||
| 기대효과 | 극초단 레이저 광빗은, 차세대 물리, 화학, 생명 등의 다양한 분야의 기초과학 분야와 더불어 IT, NT, BT의 미래 첨단산업이 요구하는 응용/산업기술의 진보를 크게 유도할 것으로 예상되며, 이에 세계적으로 활발한 연구가 진행되고 있음. 초정밀 제조산업에서는 마스크 및 샘플 스테이지의 정확한 위치 및 자세의 실시간 결정이 필요하며, 동시에 환경변화 및 가... | ||
| 키워드 | 절대거리,자세,위치 보정,이중 광빗,다채널 다자유도,플라즈모닉스,위상분광기술,광빗,측정 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기초연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 학 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 정밀생산기계 > 광에너지 응용 가공기계 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(의료,정밀,광학기기및시계) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국과학기술원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 118,030,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||