과제 상세정보
목록초저전력 나노 열 구동 기반 차세대 배선 소자와 이를 응용한 3차원 반도체 시스템 아키텍처 개발
작성자
관리자
조회수
47
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 신소자원천기술개발 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 초저전력 나노 열 구동 기반 차세대 배선 소자와 이를 응용한 3차원 반도체 시스템 아키텍처 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711121366 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2020-07-01 ~ 2023-02-28 | 당해연도 연구기간 | 2020-07-01 ~ 2020-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 본 연구 개발은 신개념 초저전력 나노 열 구동 기반 차세대 NEMS 배선소자를 개발하고 이를 응용하여 고집적 반도체의 초저전력화를 실현하는 것을 목표로 한다. 기존 정전 구동 방식의 근본적인 한계점을 타파할 나노 열 구동 메커니즘을 최초로 제안하고, CMOS 전압 레벨 구동(106 cycles)을 갖는 나노 열 구동 기반 차세대 NEMS 배선 소자를 개발한... | ||
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| 연구내용 | 본 연구진은 고집적 반도체 시스템의 초저전력화를 위하여 Monolithic 3차원 집적 공정을 통해 NEMS 배선 소자를 CMOS BEOL(Back end of line)에 적용할 것이다. 이를 위해 1차년도에는 (1) CMOS 전압 레벨 구동( 106 cycles)을 갖는 고성능 나노 열 구동 NEMS 배선 소자를 개발할 것이다. 고성능 NEMS 배선 소... | ||
| 기대효과 | 본 연구진이 제안하는 나노 열 구동 기반 NEMS 배선 소자와 이를 응용한 초저전력 Monolithic 3차원 반도체 시스템 아키텍처는 초고집적화가 이루어지고 있는 반도체 시장이 직면한 소모 전력 문제를 해결하기 위하여 로직, 비휘발성 메모리 등 다양한 반도체 분야에 활용될 것으로 기대된다. 해당 배선 기술은 기존에 전무하던 시장을 창출해내는 혁신적인 기술... | ||
| 키워드 | 반도체 아키텍처,CMOS,NEMS,기계식 능동 소자,초저전력,초고속,고신뢰성,초저전압 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 응용연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 학 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > MEMS 소자 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국과학기술원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 281,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||