| 연구목표 |
□ 8“ 웨이퍼 기반 신소자의 전기적 특성 검증을 위한 TEG 24종 개발○ Neuromorphic 신소자, Atomic 스위치 및 협의체 추천 소자 검증을 위한 Full chip TEG (Digital block 포함) 4종 포함하여 TEG 16종 개발○ 신소자의 Within wafer, Wafer to Wafer, Lot to Lot variation ... |
| 연구내용 |
Neuromorphic 신소자, Atomic 스위치 및 협의체 추천 소자 검증을 위한 Full chip TEG (Digital block 포함) 3종 포함하여 TEG 16종 개발 ? 아래와 같이 최소한 3개의 신소자에 대해 각각 4 개의 TEG 개발 ? 연구추진협의체에서 제안할 신소자들에 위한 5 개 이상의 TEG 개발 ? 다양한 뉴로모픽 신소자에서 ... |
| 기대효과 |
□ 신소자 집적 공정 Recipe를 국내 연구진에게 공개하여 신소자 연구 및 개발에 활용□ 신소자 개발에 있어서 대량의 데이터를 쉽고 빠르게 확보할 수 있는 TEG를 공개□ 자체적인 검증능력이 부족한 연구팀에 신소자 검증 통합 솔루션 제공□ 다치 로직 소자, Neuromorphic 소자, 원자 스위치 등 첨단 신소자의 Recipe 공개에 따른 국내 신소자 ... |
| 키워드 |
반도체 신소자,집적화 공정 플랫폼,평가플랫폼,TEG |