| 연구목표 |
비휘발성 로직을 위한 분극 스위칭이 가능한 소재 탐색, 공정개발, 3단자 FET소자 연구, 물리 기반 모델링 및 아키텍처 검증소자 구조/저항 비: 3단자 FET/104배 이상스위칭 시간: 50ns 이하, 동작전압: 2.0V 이하반복 횟수: 1010 이상, 저항 유지 조건: 85℃/1년 이상제안된 소재, 공정, 소자가 적용된 비휘발성 로직 아키텍처의 성능 개... |
| 연구내용 |
비휘발성 로직 아키텍처에 적용할 수 있는 분극 스위칭이 가능한 하프니아/지르코니아 기반의 강유전체, 이종접합 및 전기 다이폴 스위칭이 가능한 소재와 저온 열처리 공정개발 및 3단자 FET 개발과 이의 모델링 및 로직 아키텍처 검증강유전체 HfO, 이종접합 및 및 초 임계 열처리 공정/소자 개발 MFMIS FET를 위한 BEOL 집적 가능한 저온 공정 개발... |
| 기대효과 |
초연결 사회에서 폭증하는 정보를 효과적으로 처리할 수 있는 정보 처리 소자의 핵심기술 제공. 분극 스위칭이 가능한 소재, 공정 및 소자 기술에 대한 기술적 우위를 선점할 수 있는 기회를 마련할 수 있고, 확보된 기술은 산업체에 기술이전하고, 소자의 특성을 이용하여 다양한 분야의 전자소자에 활용이 가능함초절전/고밀도 반도체 소자 기술의 확립을 통해 정보기기,... |
| 키워드 |
분극 스위칭,전기 다이폴,강유전체,비 휘발성 로직 |