과제 상세정보
목록Mini-SEM EDS용 검출소자 패키지 개발
작성자
관리자
조회수
63
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 연구장비개발및고도화지원 |
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과제 기본정보
| 과제명 | Mini-SEM EDS용 검출소자 패키지 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711123342 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2020-04-01 ~ 2022-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2020-04-01 ~ 2020-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 1. 세계적 수준인 크기 150mm2의 신개념 Silicon Drift Detecters (SDD) 검출소자 및 저잡음 SDD 회로기술 개발을 통해 SDD 핵심기술을 확보하고, 이에 대한 기술을 이전 받아 SDD Package 기술을 개발 적용하여 특성 최적화 및 양산 기술을 확보하고자 함2. 기술 이전이후 나노종합기술원의 첨단 반도체 인프라(대규모 CMO... | ||
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| 연구내용 | 1. EDS의 X선 검출소자(SDD) 핵심기술개발● 신개념 고감도 고성능 SDD 설계 기술 및 공정 기술 확보● TCAD Simulation을 통한 고감도 고성능 SDD 소자 및 공정 집적 기술 개발 ● 양산 설계/공정 기술 확보 및 양산 환경 구축2. EDS 검출 센서용 SDD Package 기술 개발 및 시제품 제작● 고감도 X선 윈도우 개발● 고방열 ... | ||
| 기대효과 | 1. 나노종합기술원을 중심으로 공동으로 개발되는 노이즈 및 에너지 분해능 특성이 획기적으로 개선된 고감도/고성능 SDD 소자의 설계 제조 공정를 기술을 이전 받아 SDD 검출 센서 부품 및 이를 탑재한 EDS 검출 모듈/System 기술 사업화에 적극 활용할 예정임.2. 아울러 주사전자현미경의 사업화에 성공한 ㈜새론테크놀로지의 개발수요 및 개발사양을 기반으... | ||
| 키워드 | 실리콘 드리프트 디텍터, 에너지분산형 엑스선분광, 주사전자현미경, 펠티어쿨러 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기타 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > Sensor용 소자 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(의료,정밀,광학기기및시계) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | ㈜아트로닉스 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | ㈜아트로닉스 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 석사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 75,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||