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2024-05-21
내역사업 | 연구장비개발및고도화지원 |
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과제명 | 실시간 3D 형상측정기술 | ||||
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과제고유번호 | 1711123347 | ||||
부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
시행계획 내 사업명 | |||||
시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2020-04-01 ~ 2022-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2020-04-01 ~ 2020-12-31 |
연구목표 | ■ 자체 상관 간섭계 기반 비구면 및 자유곡면 렌즈의 실시간 3차원 형상 측정기술 및 연구장비 개발 - 비접촉식 광학 프로브 기반의 자유곡면 렌즈의 실시간 3D 형상 측정기술 개발 - 측정속도 0.1초 이내, 분해능 1 nm 이하, 반복정밀도 10 nm 이하의 3D 측정 기술 개발 - 초정밀 3차원 형상측정기술의 검교정 기술 및 신뢰성 평가... | ||
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연구내용 | ■ 비구면 및 자유곡면 렌즈의 실시간 3차원 형상 측정기 상용화 기술 개발 - Radial Shearing 간섭계 설계 및 제작 - 비접촉식 nm급 초정밀 3D 형상 측정기 설계/제작 기술 개발 - 고속/고정밀 측정을 위한 간섭계 기반의 측정 시스템 개발 - 편광 카메라 기반의 공간 위상천이 간섭기술 및 알고리즘 개발 - 실시간 자체상관 간섭 프로... | ||
기대효과 | ■ 연구결과의 응용분야 및 활용 범위- 구면/비구면/자유곡면 렌즈 및 복잡 형상을 갖는 광학부품의 초정밀 형상 측정 및 검사- 렌즈 금형 및 플라스틱 사출 렌즈의 인라인 검사 기술- 반도체 표면 형상 검사, 디스플레이 부품 검사 등 최첨단 부품의 검사 기술 | ||
키워드 | 비구면 및 자유곡면 렌즈, 실시간측정, 방사밀리기간섭계, 자체상관 |
단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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연구개발단계 | 기타 | 산업기술분류 | |
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미래유망신기술(6T) | IT(정보기술) | 기술수명주기 | |
연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 측정표준/시험평가기술 > 광응용 측정표준 |
주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(의료,정밀,광학기기및시계) | |
중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
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연구책임자 | 소속기관명 | 한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
국비 | 187,500,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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비고 |