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2024-05-21
| 내역사업 | 창의형융합연구사업 |
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| 과제명 | ICT 핵심소재 성분분석 최상위 기술개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711123745 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 계속과제 | 이전연도 과제번호 | 1711100517 | ||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2018-09-17 ~ 2023-09-16 | 당해연도 연구기간 | 2020-09-17 ~ 2021-09-16 |
| 연구목표 | 초정밀 원소분포 분석기술 개발최상위 조성분석 표준기술 개발산업수요 중심 조성분석용 CRM 개발 | ||
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| 연구내용 | ID-ICP/MS 합금박막 정량 분석 기술 개발MEIS에 의한 초박막 정량분석 기술 개발미량도핑원소 정량 깊이 분포 분석 소급체계 확립초정밀 3차원 원소 분포도 분석 기술 개발Q-SIMS에 의한 정밀 깊이 분포도 분석 기술 개발SSRM 활성화 원소분포도 분석 기술 개발다원합금박막 분석용 CRM 1종 개발도핑원소 농도 분석용 CRM 1종 개발산화막 두께 측정... | ||
| 기대효과 | ▪ 세계 최고 수준의 신뢰성을 갖춘 측정기술을 개발하는 것은 정밀 측정 기술 개발 및 공정 관리 차원에서 매우 큰 가치가 있음.▪ 본 사업에 의한 정밀 측정기술 개발, 활성화 원소 분포 분석 기술 및 사중극자형 이차이온질량분석기 개발의 경우 우수한 지재권 확보가 가능함.▪ 첨단 ICT 소자 제작의 측정 신뢰도 향상으로 소자 생산 수율을 높이고 다양한 소자 ... | ||
| 키워드 | ICT 소재, 주성분 정량, 도핑 원소 농도, 측정 소급체계, 인증표준물질 | ||
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 자연 > 화학 > 분석화학 > 표면분석화학 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 전문, 과학 및 기술서비스업 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 이학 |
| 국비 | 1,150,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||