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고전압 전력소자용 4인치 GaN on GaN 에피웨이퍼 개발

작성자

관리자

조회수

89

등록일

2024-05-21

사업 정보
내역사업 특구 연구성과사업화
과제 기본정보
과제명 고전압 전력소자용 4인치 GaN on GaN 에피웨이퍼 개발
과제고유번호 1711123841
부처명 과학기술정보통신부
시행계획 내 사업명
시행계획 내 사업유형 예산출처지역 대전광역시 사업수행지역 대전광역시
계속/신규 과제구분 신규과제
과제수행연도 2020 총연구기간 2020-06-01 ~ 2021-05-31 당해연도 연구기간 2020-06-01 ~ 2021-05-31
요약 정보
연구목표 ◦ kV이상급 고전압 전력소자용 4인치 GaN on GaN 에피웨이퍼 시제품 개발- 4인치 GaN 웨이퍼 위에 전력소자용 GaN 에피구조 성장- 수평구조소자 및 수직구조소자용 에피구조 성장
연구내용 1kV 이상급 고전압 전력소자용 4인치 GaN on GaN 에피웨이퍼 개발◦ 4인치 GaN 웨이퍼 위에 전력소자용 GaN 에피구조 성장- 기확보된 Si 및 SiC 기판을 이용한 GaN 에피 성장기술을 GaN 기판에 적용◦ 수평구조소자 및 수직구조소자용 에피구조 성장- 수요처의 요청 구조에 맞춰 GaN 에피웨이퍼 구조 개발
기대효과 - 차세대 반도체 산업을 위한 핵심 소재기술의 국산화- 국산화 기술을 통한 수입대체 효과- 메모리에 치우친 국내 반도체 산업 불균형 해소- 소재,부품의 국가 기술력 확보 및 무역수지 개선- 관련 고급 기술인력 양성 기여
키워드 4인치 GaN on GaN,질화갈륨,갈륨 나이트라이드,GaN 기판,웨이퍼,전력소자,에피택셜,고전압 GaN
위탁/공동여부 정보
단독연구 기업 대학 국공립(연)/출연(연) 외국연구기관 기타
기술 정보
연구개발단계 개발연구 산업기술분류
미래유망신기술(6T) IT(정보기술) 기술수명주기
연구수행주체 과학기술표준분류 인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > 반도체 재료
주력산업분류 적용분야 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비)
중점과학기술분류 과제유형
과제수행기관(업) 정보
과제수행기관(업) 정보 과제수행기관(업)명 (주)아이브이웍스 사업자등록번호
연구책임자 소속기관명 (주)아이브이웍스 사업자등록번호
최종학위 박사 최종학력전공 이학
사업비
국비 170,000,000 지방비(현금+현물) 0
비고