| 연구목표 |
- 수요지향적 액상전자현미경 시스템 구축 및 측정기술개발 - 나노소재 깊이 100nm 하부구조결함 광유도력 측정기술개발 - 융합프레임 상의 극한환경 물성측정 및 상변화/물질형성 연구 - 3차원 이미지 매핑에 의한 분포형 변형장 측정기술 및 손상감지기술개발 - 유연 다층 박막 소재 핵심요소 측정 기술 개발 |
| 연구내용 |
- 수요지향적 배터리 액상셀 설계 및 측정 - 나노바이오 물질 측정용 액상셀 제작기술 향상 - sideband coupling기법을 적용한 고감도 광유도력 측정법 구현 - 초고온, 초고압 다중 극한환경 구현 - 초고온 극한환경 및 용융액체 구조물성 동시 측정기술 개발 - 극한 환경 하 물질 형성 및 상변화 메커니즘 연구(수소, 수용액, 산화물, 금... |
| 기대효과 |
- 수요지향적인 액상셀/홀더 개발로 액상전자현미경 특정 응용분야의 선도- 전자빔을 이용한 나노입자 합성이나 나노 패턴 형성과 같은 새로운 전자빔 응용 분야 개척 - 차세대 복합 박막 공정시 비파괴적 방법을 통한 non-visual defect 및 void 검출을 함으로써 불량 분석 및 생산성 향상- 극한물성 관련 세계최초 원천기술 확보를 바탕으로 초고온, ... |
| 키워드 |
전자현미경, 나노소재, 극한환경 물성, 3차원 이미지 매핑, 유연박막 |