| 연구목표 |
1) 설계 제어력 산정 : 하이테크 구조물의 진동특성 분석, 최적의 방진 효율 결정 2) 고무 요소 재료 결정과 배치 및 형상 결정 : 적정 강성 및 감쇠를 가지는 고무 요소 설계, 배치 및 형상에 대한 시뮬레이션 3) 실험적 연구 : 방진 시스템 제작 및 특성 실험, 실데이터를 활용한 실험 4) 수치 해석적 연구 : 시스템에 대한 수치 모형화, 기존 시스... |
| 연구내용 |
1) 설계 제어력 산정 : 활용 업체에서 대상으로 하는 반도체·디스플레이 생산을 위한 하이테크 구조물의 진동에 대한 데이터를 업체로부터 확보하여 주파수 영역 범위와 주 주파수를 분석한다. 일반적으로 하이테크 구조물에서 미진동 방진 시스템의 규격은 정해져 있으며, 설치된 후 전자파, 먼지와 같은 유해 요소를 방지하기 위해 차폐하기 때문에 제어시스템, 전자 회... |
| 기대효과 |
반도체·디스플레이 산업의 고정밀화로 인해 민감한 진동 저감 및 정밀 기계 진동기준을 만족하는 미진동 방진 시스템 개발로 생산성 증대 및 품질 안정성을 확보할 수 있을 것으로 기대한다. 이는 우리나라 경제의 핵심성장동력이자 4차 산업혁명의 핵심으로 세계적인 기술 수준인 반도체·디스플레이 산업이 중국과의 격차를 멀리할 수 있게 할 수 있으며, 미래기술 확보를 ... |
| 키워드 |
미진동 방진 시스템 |