과제 상세정보
목록EUVL 마스크 검사용 초정밀 정렬/스캐닝 이송 장치 상용화 기술 개발
작성자
관리자
조회수
311
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 4. 산업계 지원 및 미래유망 기계기술 기획 |
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과제 기본정보
| 과제명 | EUVL 마스크 검사용 초정밀 정렬/스캐닝 이송 장치 상용화 기술 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711125569 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2020 | 총연구기간 | 2020-01-01 ~ 2020-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2020-01-01 ~ 2020-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | ㅇ EUVL 마스크 검사 장비에 적용이 가능한 초정밀/고진공 마스크 정렬 및 스캐닝 스테이지의 상용화 기술 개발 | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | ㅇ 1차 공진주파수 200 Hz 이상(하중 2 kg 포함)을 갖는 고강성 Z/Tilt 병렬 기구의 검사기 맞춤형 개발 - EUVL 검사 시스템 사양에 최적화된 유연기구 조인트와 피에조 스템핑 구동기 기반의 Z/Tilt 병렬 기구 설계 - 유연 기구 모델링 기술을 활용한 강성/공진주파수/작업영역 등의 해석 및 사전 검증 - 시스템 제작 및 정밀... | ||
| 기대효과 | ◦ 최첨단 기술의 내재화를 통한 기술 독립 - 차세대 반도체 시장에서 주목 받는 EUV 공정에서 열악한 국내 생태계에 최첨단 EUV 솔루션 기술의 내재화를 통한 기술 독립 - 일본의 수출 규제의 영향을 해소 할 수 있도록 국내 마스크 및 소재 중소기업의 개발 및 성장의 가속화 ◦ 반도체산업이 성장할수록 장비 수입이 증가하는 구조이므로 국가간 정치적 ... | ||
| 키워드 | 피에조 스캐너, 팁-틸트-피스톤 얼라이너, 초정밀 스테이지, 진공 스테이지 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 로봇/자동화기계 > 조립/정밀 이송기술 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 기타 공공목적 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국기계연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국기계연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 90,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||